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    電子工業潔凈廠房設計規范

    點擊目錄可直接跳轉到相應章節 加入收藏 規范號GB 50472-2008

    目 錄  

     

    前 言

    1、總 則

    2、術 語

    3、電子產品生產環境設計要求

    4、總體設計

    5、工藝設計

    6、潔凈建筑設計

    7、空氣凈化和空調通風設計

    8、給水排水設計

    9、純水供應

    10、氣體供應

    11、化學品供應

    12、電氣設計

    13、防靜電與接地設計

    14、噪聲控制

    15、微振控制

    附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

    附錄B 電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

    附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

    附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

    本規范用詞說明

      

    中華人民共和國國家標準

     

    電子工業潔凈廠房設計規范

      
    Code for design of electronic industry clean room
     

    GB 50472-2008  

     

    主編部門:中華人民共和國工業和信息化部
    批準部門:中華人民共和國住房和城鄉建設部
    施行日期:2 0 0 9 年 7 月 1 日

     

    中華人民共和國住房和城鄉建設部公告
    第200號


    關于發布國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》的公告


    現批準《電子工業潔凈廠房設計規范》為國家標準,編號為GB 50472-2008,自2009年7月1日起實施。其中,第3.2.5、4.3.3(1)、5.4.2、 5.5.6、 6.2.1、 6.2.6、 6.2.7、 6.2.8、 6.2.9、6.3.1、 7.1.6、 7.5.1、 7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、 7.5.4、 7. 5. 6、7.6.1、 7.7.2、 7.7.7(2、3)、 8.3.1、 8.3.2、 8.5.1、 8.5.2(1)、8.5.3(3)、 9.2. 3(3、4、5)、 10. 1 5、 10. 1. 6、 10. 1. 7(2、3)、10.1.8(1、3、4)、 10.2. 5、 10. 2. 6、 10. 4. 2、 10. 4. 3(1、2、3)、10.4.5、 11.2.1(1、2、3、5、6、7、8)、 11.2.2、 11. 2. 3、 11. 2. 5、11.3.1、 12.1.8、 12.2.3(1)、 12.2.4、 12.3.2、 12.3.4(1、3)、12.3.6、12.3.7、12.3.8、12.4.4、13.2.1(2、3)、13.3.4條(款)為強制性條文,必須嚴格執行。
    本規范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發行。

    中華人民共和國住房和城鄉建設部
    二〇〇八年十二月十五日
     

     

     

    前 言

     
    本規范是根據建設部“關于印發《2005年工程建設標準規范制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標函〔2005〕124號)的要求,由中國電子工程設計院會同有關單位編制完成的。
    本規范在編制過程中,編制組結合我國電子工業潔凈廠房設計建造和運行的實際情況,進行了廣泛的調查研究,收集整理相關的專題報告、測試資料,認真總結多年來電子工業潔凈廠房設計建造和運行方面的經驗,廣泛征求了國內有關單位的意見,最后經審查定稿。
    本規范共分15章和4個附錄。主要內容有:總則、術語、電子產品生產環境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈建筑設計、空氣凈化和空調通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制、微振控制等。
    本規范中以黑體字標志的條文為強制性條文,必須嚴格執行。
    本規范由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋,由中國電子工程設計院負責具體內容的解釋。本規范在執行過程中,希望各有關單位結合工程實踐,認真總結經驗,若發現需要修改和補充之處,請將意見和有關資料寄至中國電子工程設計院《電子工業潔凈廠房設計規范》管理組(地址:北京市海淀區萬壽路27號,郵政編碼:100840,傳真:010—68217842,E-mail.xiao—hongmei@ceedi.com.cn),以供今后修改時參考。
    本規范主編單位、參編單位和主要起草人:
    主編單位:中國電子工程設計院
    參編單位:信息產業電子第十一設計研究院有限公司 上海電子工程設計研究院有限公司 深圳市電子院設計有限公司 中國電子系統工程第二建設有限公司 北京中瑞電子系統工程設計院
    主要起草人:陳霖新 秦學禮 晁陽 張利群 王唯國 侯憶 穆京祥 趙海 高艷敏 王毅勃 肖紅梅 李杰 李錦生 路振福 章光護 鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳騮 焦明偉

     

     

     
    1.0.1 為在電子工業潔凈廠房設計中,做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量,并符合勞動衛生和環境保護的要求,制定本規范。

    1.0.2 本規范適用于新建、擴建和改建的電子工業潔凈廠房設計。

    1.0.3 電子工業潔凈廠房的設計應滿足需潔凈環境的電子產品生產工藝要求,并應根據具體情況為今后產品生產發展或生產工藝改進的需要預留條件。

    1.0.4 電子工業潔凈廠房的設計應為施工安裝、調試檢測和安全運行、維護管理創造必要的條件。 

    1.0.5 電子工業潔凈廠房設計除應執行本規范外,尚應符合國家現行有關標準的規定。
     

    2 術 語

    2.0.1 潔凈室 clean room
    空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

    2.0.2 潔凈區 clean zone
    空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子?臻g內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制?梢允情_放式或封閉式。

     2.0.3 人員凈化用室 room for cleaning human body
    人員在進入潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。

    2.0.4 物料凈化用室 room for cleaning material
    物料在進入潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。

    2.0.5 粒徑 partical size
    由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。

    2.0.6 懸浮粒子 airborne particles
    用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1~5μm的固體和液體粒子。

    2.0.7 含塵濃度 particle concentration
    單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

    2.0.8 潔凈度 cleanliness
    以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

    2.0.9 空態 as-built
    設施已經建成,所有動力接通并運行,但無生產設備、材料及人員。

    2.0.10 靜態 at-rest
    設施已經建成,生產設備已經安裝,并按業主及供應商同意的狀態運行,但無生產人員。

    2.0.11 動態 operational
    設施以規定的狀態運行,有規定的人員在場,并在商定的狀況下進行工作。

    2.0.12 氣流流型 air pattern
    室內空氣的流動形態和分布。

    2.0.13 單向流 unidirectional airflow
    沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

    2.0.14 非單向流 non-unidirectional airflow
    凡不符合單向流定義的氣流。

    2.0.15 混合流 mixed airflow
    單向流和非單向流組合的氣流。

    2.0.16 潔凈工作區 clean working area
    指潔凈室內離地面高度0.8~1. 5m(除工藝特殊要求外)的區域。

    2.0.17 空氣吹淋室 airshower
    利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

    2.0.18 氣閘室 airlock
    設置在潔凈室出入口,阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

    2.0.19 傳遞窗 passbox
    在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側窗扇的開啟應進行聯鎖控制。

    2.0.20 潔凈工作服 clean working garment
    為把工作人員產生的粒子限制在最低程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。

    2.0.21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
    在額定風量下,最易穿透粒徑法的效率在99.95%以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。

    2.0.22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
    在額定風量下,最易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

    2.0.23 微環境 minienvironment
    將產品生產過程與操作人員、污染物進行嚴格分隔的隔離空間。

    2.0.24 風機過濾器機組 fan filter unit(FFU)
    由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

    2.0.25 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
    潔凈室被污染后,凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。

    2.0.26 技術夾層 technical mezzanine
    潔凈廠房中以水平構件分隔構成的空間,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

    2.0.27 技術夾道 technical tunnel
    潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

    2.0.28 技術豎井 technical shaft
    潔凈廠房中主要以垂直構件分隔構成的井式管廊,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

    2.0.29 專用消防口 fire-firing access
    消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口,平時封閉,使用時由消防人員從室外打開。

    2.0.30 純水 pure water
    雜質含量很少的水,其電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。

    2.0.31 常用氣體 bulk gas
    電子產品生產過程中,廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。

    2.0.32 特種氣體 special gas
    電子產品生產過程中,使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

    2.0.33 化學品 chemical
    指電子產品生產過程中使用的酸、堿、有機溶劑和氧化物等。

    2.0.34 防靜電環境 ESD controlled environment
    具有防止靜電危害的特定環境,在此環境中不易產生靜電或靜電產生后易于泄放或消除,靜電噪聲難以傳播。

    2.0.35 表面電阻 surface resistance
    在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。


     

    3 電子產品生產環境設計要求

    3.1 一般規定

    3.1.1 電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。

    3.1.2 生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求,對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。

    3.1.3 潔凈室(區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。  

    3.1.4 潔凈室(區)的空氣潔凈度等性能測試和認證應符合本規范附錄D的要求。

    3.2 生產環境設計要求

    3.2.1 潔凈室(區)的空氣潔凈度等級應按現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定執行。
    潔凈室(區)設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。

    3.2.2 各種電子產品生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定;無要求時,可按本規范附錄A確定。

    3.2.3 潔凈室(區)的溫度和相對濕度應按表3.2 3確定。

    電子工業潔凈廠房設計規范1.jpg 

    3.2.4 各類電子產品生產所需純水水質、氣體及化學品的純度和雜質含量等應根據生產工藝要求確定。

    3.2.5 單向流和混合流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于65dB(A),非單向流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于60dB(A)。

    3.2.6 潔凈室(區)的微振動控制設計應滿足精密設備、儀器的振動容許值要求。無要求時,可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

     

    4 總體設計

    4.1 位置選擇和總平面布置

    4.1.1 潔凈廠房位置的選擇,應根據下列要求經技術經濟比較后確定:
    1 應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域;
    2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時,則應位于全年最小頻率風向下風側;
    3 在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。
     

    4.1.2 潔凈廠房凈化空調系統的新風口與城市交通干道之間的距離(相鄰側邊沿)宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時,可根據具體條件適當減少,但不得小于25m。

    4.1.3 對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應實際測定周圍現有振源和模擬振源的影響,并應與容許振動值比較分析后確定。

    4.1.4 廠區總平面布置時,應按潔凈生產、非潔凈生產、輔助生產、公用動力系統和辦公、生活等功能區合理布局。
    潔凈廠房宜根據電子產品生產工藝特點和各種功能區的要求,按組合式、大體量的綜合性廠房布置。
     

    4.1.5 潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層,應選用整體性能好、發塵少的材料。  

    4.1.6 潔凈廠房周圍應進行綠化,但不宜種植對生產環境和產品質量有影響的植物。  

    4.1.7 潔凈廠房宜設置環行消防車道,若有困難時可沿廠房的兩長邊側設消防車道。消防車道的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

    4.2 潔凈室型式

    4.2.1 潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。  

    4.2.2 電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

    4.2.3 潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環境等型式。 

    4.3 潔凈室布置和綜合協調

    4.3.1 潔凈廠房的平面布置應合理安排潔凈生產區、輔助區和動力區,并應符合下列要求:
    1 潔凈室(區)人員凈化、物料凈化和各種輔助用房,應合理分區布置;
    2 生產工藝或生產設備有特殊要求時,宜分隔為單獨的房間;
    3 生產過程中排放腐蝕性氣體的生產設備或生產工序應分類、集中布置或與其他生產房間分隔;
    4 發熱量、發塵量大的生產工序或生產設備,宜與空氣潔凈度要求嚴格的房間分隔布置;
    5 潔凈室(區)的輔助設備、維修間等技術支持區,宜集中布置在潔凈室(區)的相鄰房間,技術支持區的空氣潔凈度等級應低于潔凈室(區)的等級;
    6 若需在潔凈室(區)內設置潔凈電梯時,應采取氣閘間、潔凈送風措施;
    7 應符合有關防爆、防火、消防等要求。

    4.3.2 潔凈室(區)的空間布置應滿足下列要求:
    1 生產設備、物料運輸系統應根據產品生產工藝要求布置,并應做到有效、靈活和操作方便;
    2 各類管線的空間布置應滿足生產工藝、安全間距和維修要求;
    3 終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設施的布置,應滿足生產工藝、潔凈度等級、安全生產和維修要求;
    4 潔凈生產層的高度應按生產設備、微環境裝置和物料運輸設備的外形尺寸確定。技術夾層高度應根據具體工程要求確定。
     

    4.3.3 潔凈室(區)內應少分隔,但下列情況應予分隔:
    1 按火災危險性分類,甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間,或有防火分隔要求時,應設隔墻;
    2 在電子產品生產過程中,經常不同時使用的兩個生產區段或房間之間;
    3 生產過程中排放影響產品質量的有害氣體或化學污染物的工序、設備,宜分隔設獨立房間。

    4.3.4 潔凈廠房的布置應綜合協調生產操作、設備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調系統等各類技術設施的需要。

      

    5 工藝設計  

    5.1 一般規定

    5.1.1 潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預留必要的條件。 

    5.1.2 潔凈廠房工藝設計應確定各種生產條件,在滿足電子產品生產要求的前提下,應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產效率高。 

    5.1.3 潔凈廠房工藝設計應根據產品生產工藝和空氣潔凈度等級要求設置人流路線、物料運輸和倉儲設施。  

    5.2 工藝布局

    5.2.1 潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。
    在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。

    5.2.2 工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口,并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。 

    5.2.3 在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下,空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。 

    5.2.4 潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場所設置,并宜布置在上風側;易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置或下風側。

    5.2.5 工藝布置時,應根據大型生產工藝設備的運輸、安裝、維修的要求設置運輸通道、安裝口或檢修口。

    5.2.6 潔凈廠房內不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間聯系頻繁時,應采取防止污染的措施。 

    5.3 人員凈化

    5.3.1 人員凈化用室和設施應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級設置,并應設置生活用室。人員凈化用室宜按圖5.3.1的人員凈化程序進行布置。  

    電子工業潔凈廠房設計規范2.jpg   

    5.3.2 人員凈化用室,應根據換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室,可根據需要設置。 

    5.3.3 潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積,應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級和潔凈室內工作人員數量等確定,宜按潔凈室(區)內設計人數平均2~4m2/人計算。 

    5.3.4 人員凈化用室和生活用房的設置,應符合下列規定:
    1 凈鞋設施應設在潔凈室入口處;
    2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設置在同一房間內;
    3 外衣存放柜應按潔凈室(區)內設計人數配置;
    4 應設置存放潔凈工作服,且帶有空氣凈化的存衣設施;
    5 應設置感應式洗手和烘干設施;
    6 廁所宜設在進入人員凈化用室之前,需設在人員凈化用室內時,應設置前室。
     

    5.3.5 潔凈廠房空氣吹淋室的設計,應符合下列要求:
    1 在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
    2 吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位;
    3 單人空氣吹淋室,應按最大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;
    4 空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
    5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區),宜設氣閘室。

    5.3.6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內逐步潔凈,室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。
    潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級;當設有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。
     

    5.4 物料凈化

    5.4.1 潔凈室(區)內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。 

    5.4.2 物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。  

    5.5 設備及工器具

    5.5.1 潔凈室(區)內應采用具有防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備,并應符合下列要求:
    1 表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質;
    2 設備的傳動部件等應密封性能好,并應防止潤滑油、冷卻劑等的泄漏;
    3 對生產中發塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備,應采取防擴散措施;
    4 設備的金屬外殼應設置接地設施。

    5.5.2 當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時,宜采取密封隔斷措施。

    5.5.3 潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。 

    5.5.4 潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。

    5.5.5 潔凈室(區)內,電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器,應符合下列規定:
    1 制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;
    2 應密封性能好;
    3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;
    4 構造、外形應滿足生產工藝要求,并應方便操作和運送。

    5.5.6 潔凈室(區)內設置真空泵時,應符合下列規定:
    1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置,除油后尾氣應排入排氣系統;
    2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵,可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時,應設尾氣處理裝置,在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分;
    3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵,應采用不然泵油,并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。

     

    6 潔凈建筑設計

    6.1 一般規定

    6.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。

    6.1.2 潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不應采用內墻承重體系。

    6.1.3 潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快,并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。

    6.1.4 潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調,并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。

    6.1.5 設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。

    6.1.6 設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房,技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。

    6.1.7 對兼有一般生產區和潔凈室(區)的綜合性廠房,廠房的平面布局和構造處理,宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。

    6.1.8 潔凈廠房內的通道寬度應滿足人員操作、物料運輸、設備安裝和檢修的要求。

    6.2 防火和疏散

    6.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

    6.2.2 潔凈廠房內生產工作間的火災危險性,應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定;馂奈kU性分類舉例見本規范附錄B。

    6.2.3 潔凈廠房內防火分區的劃分,應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。
    丙類生產的電子工業潔凈廠房的潔凈室(區),在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后,其每個防火分區的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

    6.2.4 潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產層,當按其構造特點和用途作為同一防火分區時,上下技術夾層的面積可不計入防火分區的建筑面積,但應分別采取相應的消防措施。

    6.2.5 潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質選擇,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    6.2.6 在綜合性廠房的一個防火分區內,潔凈生產區域與一般生產區域之間應設置不然燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設置,應符合下列規定:
    1 每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定;
    2 安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;
    3 丙類生產的電子工業潔凈廠房,在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1.5倍。
    注 對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房,且潔凈生產區人員密度小于0.02人/m2,其疏散距離應按工藝需要確定,但不得大于120m。

    6.2.8 潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置專用消防口,并應符合下列規定:
    1 潔凈區各層專用消防口的設計,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定;
    2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗,均不應作為專用消防口。

    6.2.9 潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置,且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

    6.3 室內裝修

    6.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。

    6.3.2 潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求;
    1 應滿足使用功能的要求,且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應減少凹凸面;
    2 當采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面。

    6.3.3 潔凈室樓地面設計應符合下列要求
    1 應滿足電子產品生產工藝和設備安裝要求;
    2 應平整、耐磨、易清潔、不易積聚靜電、避免眩光、不開裂、耐撞擊等;
    3 地面宜配筋,并應做防潮構造。

    6.3.4 潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂柵應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。

    6.3.5 當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結露措施。

    6.3.6 潔凈室(區)門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:
    1 應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;
    2 頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道;
    3 潔凈室(區)不宜設窗臺;
    4 當地面采用活動地板時,活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。

    6.3.7 用于電子產品生產的潔凈室(區)的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。

     

    7 空氣凈化和空調通風設計

    7.1 一般規定

    7.1.1 潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級,應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

    7.1.2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。

    7.1.3 有下列情況之一者,凈化空調系統宜分開設置:
    1 運行班次或使用時間不同;
    2 生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染,對產品質量或操作人員健康、安全有影響;
    3 對溫、濕度控制要求差別大;
    4 潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊;
    5 凈化空調系統與一般空調系統;
    6 系統風量過大的凈化空調系統。

    7.1.4 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3.2.3條的規定。

    7.1.5 潔凈室(區)內的新鮮空氣量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    7.1.6 潔凈室(區)與周圍的空間應保持一定的靜壓差,靜壓差應符合下列規定:
    1 各潔凈室(區)與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定;
    2 不同等級的潔凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa;
    3 潔凈室(區)與非潔凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa;
    4 潔凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。

    7.1.7 潔凈室(區)維持靜壓差值所需的壓差風量,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。

    7.1.8 送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖、控制要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    7.1.9 非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化處理。

    7.1.10 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1~5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統,潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。

    7.2 氣流流型和送風量

    7.2.1 氣流流型的設計,應符合下列要求:
    1 氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求?諝鉂崈舳鹊燃墳1~5級時,應采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6~9級時,宜采用非單向流;
    2 潔凈室工作區的氣流流速應滿足生產工藝和工作人員健康的要求。

    7.2.2 潔凈室的送風量,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    7.2.3 潔凈室(區)所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和氣流流型,宜按表7.2.3計算。

     

    電子工業潔凈廠房設計規范3.jpg

    7.3 凈化空調系統

    7.3.1 潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。
    凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調系統,

    7.3.2 潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求,經技術經濟比較,采用運行經濟、節約能源的送風方式。

    7.3.3 凈化空調系統新風的室外吸入口位置,應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。

    7.3.4 多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風,應集中處理。

    7.3.5 凈化空調系統設計應合理利用回風,但下列情況不得回風:
    1 在生產過程中向車間內散發的有害物質超過規定時;
    2 采用局部處理不能滿足衛生要求時;
    3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

    7.3.6 凈化空調系統需設置電加熱時,應選用不產塵的電加熱器,且應布置在高效過濾器的上風側,并應采取安全保護措施。

    7.3.7 凈化空調系統的電加濕器應采取安全保護措施。

    7.3.8 根據氣象條件,存在冷凍可能的地區,新風系統應采取防凍保護措施。

    7.4 空氣凈化設備

    7.4.1 空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求:
    1 空氣過濾器應根據空氣潔凈度等級選用;
    2 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;
    3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;
    4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端;
    5 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;
    6 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;
    7 對化學污染物有控制要求的潔凈室(區),在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;
    8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。

    7.4.2 風機過濾器機組的設置應符合下列要求:
    1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;
    2 應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置;
    3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定;
    4 送風量應能調節;
    5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應滿足檢修要求。

    7.4.3 層流罩的設置應符合下列要求:
    1 潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩;
    2 層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用;
    3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定;
    4 安裝方式不應影響生產操作。

    7.4.4 微環境裝置的設置應符合下列要求:
    1 當生產工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求,且所控區域不大時,宜采用微環境裝置;
    2 微環境裝置宜與生產工藝設備配套;
    3 在不影響工藝操作的前提下,應具有可靠的密閉性,內外表面應平整、光滑;
    4 圍擋構造、材料的選用應方便生產操作。

    7.4.5 干表冷器的設置應符合下列要求:
    1 安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定;
    2 迎面風速、結構形式應根據潔凈室(區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定;
    3 冷凍水進水溫度,宜高于潔凈室(區)內空氣的露點溫度;
    4 應設置排水設施。

    7.4.6 凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置,應符合下列要求:
    1 應有良好的氣密性,漏風率不得大于1%;
    2 整體結構應有足夠的強度和剛度,內表面應平整、光滑,外表面不應結露;
    3 布置應整齊,并應便于運行和維修;當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區)服務時,宜選用相同規格的空氣處理機組;
    4 送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統總阻力時,中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;
    5 應設置排水裝置。

    7.5 采暖、通風

    7.5.1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區)不應采用散熱器采暖。

    7.5.2 潔凈廠房內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備,應設置局部排風裝置,排風罩宜為密閉式。局部排風系統單獨設置的要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    7.5.3 潔凈室(區)的排風系統設計,應符合下列要求:
    1 應防止室外氣流倒灌;
    2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施;
    3 局部排風系統排出的有害氣體,當其有害物質濃度超過排放標準時,應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現行有關排放標準的規定;
    4 對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統,應設置坡度及排放口;
    5 排風介質中含有劇毒物質時,應設置備用排風機和處理設備,并應設置應急電源;
    6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時,應設置備用排風機,并應設置應急電源;
    7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統,其風量應按在正常運行和事故情況下,風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;
    8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統,應設置消除靜電的接地裝置。

    7.5.4 對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路,應保持相對于路由區域一定的負壓值。

    7.5.5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產輔助房間,應采取通風措施。

    7.5.6 潔凈室(區)事故排風系統的設計,應符合下列規定:
    1 事故排風區域的換氣次數不應小于12次/h;
    2 應設置自動和手動控制開關,手動控制開關應分別設置在潔凈室(區)和潔凈室(區)外便于操作的地點;
    3 應設置應急電源。

    7.6 排 煙

    7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊,應設置機械排煙設施。

    7.6.2 潔凈廠房排煙設施的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。當同一防火分區的丙類潔凈室(區)人員密度小于0.02人/m2,且安全疏散距離小于80m時,潔凈室(區)可不設機械排煙設施。

    7.6.3 機械排煙系統宜與通風、凈化空調系統分開設置;當合用時,應采取防火安全措施,并應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

    7.6.4 機械排煙系統的風量、排煙口位置、風機的設置,應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

    7.7 風管、附件

    7.7.1 凈化空調系統的新風吸入管應設置防倒灌裝置;送、回風管宜設置調節閥。

    7.7.2 凈化空調系統風管的防火閥的設置,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
    含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道,不得設置熔片式防火閥。

    7.7.3 凈化空調系統的風管、配件、過濾器以及密封材料等,應根據輸送空氣的潔凈度要求確定,并不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

    7.7.4 潔凈室(區)內排風系統的風管、閥門、附件的制作材料和涂料,應根據排除氣體的物理化學性質及其所處的空氣環境條件確定,并不得與所輸送介質發生化學反應或引起安全事故的發生。

    7.7.5 凈化空調系統的送、回風總管上,應采取消聲措施,并應滿足潔凈室(區)內噪聲控制的要求。潔凈室(區)排風系統,應采取消聲措施,并應滿足室內外噪聲標準的要求。

    7.7.6 在集中設置的空氣過濾器的前后,應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上,應設置風量測定孔。

    7.7.7 風管附件及輔助材料的防火性能,應符合下列規定:
    1 凈化空調系統、排風系統的風管應采用不燃材料制作,但接觸腐蝕性介質的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作;
    2 排煙系統的風管應采用不燃材料制作;
    3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

     

    8 給水排水設計

    8.1 一般規定

    8.1.1 潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內,并宜敷設在通行的技術夾層內。條件合適時,也可埋地敷設。潔凈室(區)內管道宜暗裝,與本房間無關的管道不應穿過。

    8.1.2 穿過潔凈室的水管道,應根據管內水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結露措施。當采取隔熱防結露措施時,其外表面應光滑、平整。

    8.1.3 給水排水管道穿過潔凈室(區)墻壁、樓板和頂棚時應設置套管,管道和套管之間應采取密封措施。

    8.2 給 水

    8.2.1 潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產、生活、消防分別設置獨立的給水系統。

    8.2.2 當設有危險化學品儲存和分配室時,應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求,設置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應環形敷設布置。

    8.2.3 給水管道的管材及附件的選擇,應符合下列要求:
    1 給水系統的管材和附件的選用,應滿足生產工藝和系統工作參數的要求;
    2 埋地管道應耐腐蝕,并應具有承受相應地面荷載的能力;
    3 生產設備循環冷卻水給水和回水管道,應按生產工藝和水質要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;

    4 閥門及附件應采用與管材相同的材質。

    8.3 排 水

    8.3.1 生產、生活排水系統應分別設置。生產排水系統應根據電子產品生產設備排出的廢水性質、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。

    8.3.2 潔凈室(區)內與電子產品生產設備相連接的重力排水管道,應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統應有完善的通氣系統。

    8.3.3 潔凈室(區)內地漏等排水設施的設置,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    8.3.4 潔凈廠房內宜采用不易積存污物、易于清洗的衛生設備。

    8.4 雨 水

    8.4.1 屋面雨水排水系統應確保能迅速、及時地將屋面雨水排至室外雨水管渠或室外。

    8.4.2 屋面雨水排水管道的排水設計重現期不宜小于10年。

    8.4.3 屋面雨水排水工程應設置溢流口、溢流堰、溢流管系等溢流設施。屋面雨水排水工程與溢流設施的總排水能力不應小于50年重現期的雨水量。

    8.4.4 雨水斗的位置應確保雨水斗連接管和懸吊管不穿過潔凈室(區)。

    8.5 消防給水和滅火設備

    8.5.1 潔凈廠房必須設置消防給水系統。消防給水系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

    8.5.2 潔凈廠房消火栓的設置應符合下列規定
    1 潔凈室(區)的生產層及上下技術夾層(不含不通行的技術夾層),應設置室內消火栓;
    2 室內消火栓的用水量不應小于10L/s,同時使用水槍數不應少于2支,水槍充實水柱不應小于10m,每只水槍的出水量不應小于5L/s;
    3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應小于15L/s。

    8.5.3 潔凈室(區)設置的固定滅火設施,應符合下列規定:
    1 設置的自動噴水滅火系統,應符合現行國家標準《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084的有關規定。噴水強度不應小于8L/min·m2,作用面積不應小于160m2;
    2 設置的氣體滅火系統,應符合現行國家標準《氣體滅火系統設計規范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統設計規范》GB50193的有關規定,
    3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。

    8.5.4 潔凈廠房內各場所應配置滅火器,并應符合現行國家標準《建筑滅火器配置設計規范》GB 50140的有關規定。

     

    9 純水供應

     

    9.1 一般規定

    9.1.1 電子產品生產用純水系統的選擇,應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,并結合系統規模、材料及設備供應等情況,經技術經濟比較確定。

    9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。

    9.1.3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管,套管與管道之間應采取密封措施。

    9.1.4 潔凈室(區)內純水管道的保溫材料,不得產生污染物,外表面應平整、光滑、易于清潔。

    9.2 純水系統

    9.2.1 純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外,還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

    9.2.2 純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列規定:
    1 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質、終端水質的要求;
    2 純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水質污染少、密封性好,不得有滲氣現象;
    3 純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。

    9.2.3 純水系統應采用循環供水方式,宜采用單管式循環供水系統或設有獨立回水管的雙管式循環供水系統,并應符合下列規定:
    1 循環回流水量應大于設計供水量的30%;
    2 干管流速應大于等于1.5m/s;
    3 不循環支管的長度不應大于管徑的6倍;
    4 干管應設置清洗口;
    5 管道系統必須密封,不得有滲氣現象;
    6 應配備在線水質檢測儀表;
    7 對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝,應采用雙管式循環供水系統。

    9.2.4 純水系統中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學性質穩定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

    9.2.5 用于純水系統的水質檢測設備、量具、儀表,其連接不應使純水水質降低,其檢測范圍和精度應符合純水生產和檢驗的要求。

    9.2.6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產設備設置。

    9.3 管材、閥門和附件

    9.3.1 純水系統管道材質的選用,應符合下列要求:
    1 應滿足純水水質指標的要求;
    2 材料的化學穩定性應好;
    3 管道內壁光潔度應好;
    4 不得有滲氣現象。

    9.3.2 純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規定:
    1 應選擇與管道相同的材質;
    2 應選用密封好、結構合理、無滲氣現象的閥門;
    3 對純水的水質要求嚴格的產品生產工藝用純水系統,應采用隔膜閥。

     

    10 氣體供應

    10.1 一般規定

    10.1.1 潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質應滿足生產工藝要求。

    10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統,應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素,經技術經濟比較后確定。

    10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統,除應符合本規范外,還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關規定。

    10.1.4 潔凈廠房內的氣體管道的干管,應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時,比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部,比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

    10.1.5 潔凈室(區)內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷,穿過潔凈室(區)的墻壁或樓板處的管段應設置套管,套管內的管道不得有焊縫,套管與管道之間應采取密封措施。

    10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間;當必須穿過時應設套管或雙層管。

    10.1.7 高純氣體管道設計應符合下列規定:
    1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定,管外徑不宜小于6mm,壁厚不宜小于1mm,
    2 不得出現不易吹除的“盲管”等死空間,
    3 管道系統應設置吹掃口和取樣口。

    10.1.8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施:
    1 可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱,閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置,報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖;
    2 接至用氣設備的支管和放散管,宜設置阻火設施;
    3 引至室外的放散管,應設置防雷保護設施,
    4 應設置導除靜電的接地設施。

    10.1.9 氣體過濾器應根據產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。

    10.2 常用氣體系統

    10.2.1 常用氣體供應系統宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態氣體、瓶裝氣體。

    10.2.2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外,應高出本建筑的屋脊1m,并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

    10.2.3 氣體純化裝置的設置,應符合下列要求:
    1 氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇;
    2 氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;
    3 各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時,也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;
    4 氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

    10.2.4 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設置在氣體入口室。

    10.2.5 氣體純化間(站)或氣體入口室內,設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時,氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定,并應符合下列規定:
    1 應靠外墻設置,并應設置防爆泄壓設施;
    2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥;
    3 應具有良好的自然通風,并應設置事故排風裝置;
    4 應設置氣體泄漏報警裝置,并應與事故排風裝置聯鎖;
    5 應設置導除靜電的接地設施。

    10.2.6 潔凈廠房內的氧氣管道等,應采取下列安全技術措施:
    1 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理;
    2 應設置導除靜電的接地設施;
    3 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

    10.2.7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時,氣瓶可設置在潔凈室(區)內,但應采取不積塵和易于清潔的措施。

    10.2.8 氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇,宜符合下列規定:
    1 氣體純度大于或等于99.999999%時,應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管,閥門應采用隔膜閥;
    2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時,宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管,閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;
    3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時,宜采用內壁拋光的不銹鋼管,除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外,其余氣體管道宜采用球閥;
    4 氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

    10.2.9 氣體管道連接,應符合下列規定:
    1 管道連接應采用焊接,
    2 不銹鋼管應采用氬弧焊,宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;
    3 管道與設備或閥門的連接,宜采用表面密封的接頭或雙卡套,接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;
    4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時,宜采用金屬軟管。

    10.3 干燥壓縮空氣系統  

    10.3.1 潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規定,
    1 供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;
    2 供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;
    3 供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;
    4 應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機;
    5 含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

    10.3.2 干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于-76℃時,應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管;露點低于-40℃時,宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

    10.3.3 管道連接應符合下列規定:
    1 宜采用焊接,不銹鋼管應采用氬弧焊;
    2 含水量露點嚴于-40℃時,用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;
    3 當采用軟管連接時,宜采用金屬軟管。

    10.4 特種氣體系統

    10.4.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體供應,在電子工廠內應設置儲存、分配系統。

    10.4.2 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區)分隔,隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

    10.4.3 潔凈室(區)內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置,應符合下列規定:
    1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續機械排風的特氣柜中;
    2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源;
    3 一個特氣分配系統供多臺生產設備使用時,應設置多路閥門箱;
    4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規范第10.1和10.2節的有關規定。

    10.4.4 特種氣體分配系統應設置吹掃盤,并應符合下列規定:
    1 應設置應急切斷裝置;
    2 應設置過流量控制裝置,
    3 應設置手動隔離閥;
    4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統;
    5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

    10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定:
    1 儲存區應至少三面敞開,氣瓶應固定在鋼制框架上;
    2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m;
    3 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。

    11 化學品供應

    11.1 一般規定

    11.1.1 潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式,應根據產品生產工藝和化學品的品質、數量、物理化學特性等確定。

    11.1.2 潔凈廠房內使用的各類化學品應按照各自的物理化學特性分類和儲存,并應符合現行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關規定。

    11.1.3 在潔凈室(區)內使用危險化學品的生產設備或空間,應采取相應的安全保護措施。

    11.2 化學品儲存、輸送

    11.2.1 潔凈廠房內各種化學品儲存間(區)的設置,應符合下列規定:
    1 化學品儲存間(區)的儲量不應超過該化學品24h的消耗量;
    2 化學品應按物化特性分類儲存;當物化性質不容許同庫儲存時,應采用實體墻分隔;
    3 危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內,與相鄰房間應采用耐火極限大于1.5h的隔墻分隔;
    4 危險化學品儲存、分配間宜靠外墻布置;
    5 各類化學品儲存、分配間應設置機械排風。機械排風應采用應急電源;
    6 易爆化學品儲存、分配間,應采用不發生火花的防靜電地面;
    7 輸送易燃、易爆化學品的管道,應設置導除靜電的接地設施;
    8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學品的總管上,應設置自動和手動切斷閥。

    11.2.2 潔凈廠房內采用容器傳送危險化學品時,應符合下列規定:
    1 嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學品。潔凈廠房內運送易燃化學品的走廊應設置自動滅火系統;
    2 運送危險化學品的推車運載量不得超過250L;單個容器的容量不應超過20L;
    3 物理化學特性不相容的危險化學品不得采用同一推車運送。

    11.2.3 當采用壓力罐輸送危險化學品時,應符合下列規定:
    1 輸送系統設備、管道應采用與所輸送的化學品相容的材質;
    2 壓力罐應設置減壓通風口,減壓通風口的排氣管應接至安全區域;
    3 輸送系統應只容許采用氮氣增壓,
    4 在分配和使用處應設置手動切斷閥;
    5 應設置液位監控和自動關閉裝置,并應設置溢流應對設施。

    11.2.4 危險化學品的儲存、分配間應設置排水系統,并應符合下列規定:
    1 含可燃液體的排水,應排入相關的生產排水管道,不得排入易產生化學反應以及引起火災或爆炸的排水管道;
    2 物理化學特性不相容的化學品,應分別單獨設置排水系統。

    11.2.5 液態危險化學品的儲存、分配間,應設置溢出保護設施,并應符合下列規定:
    1 儲存罐或罐組應設置保護堤,保護堤堤內容積應大于最大儲罐的容積或20min消防用水量;保護堤的高度不應低于500mm;
    2 化學品相互接觸引起化學反應的可燃液體儲罐或罐組之間,應設置隔堤,隔堤不得滲漏;管道穿過隔堤時應采用不燃材料密封。隔堤高度不應低于400mm;
    3 應設置液體泄露報警裝置;
    4 應設置緊急淋浴和洗眼器。

    11.3 管材、閥門

    11.3.1 化學品供應系統管道材質的選用,應按所輸送化學品的物理化學性質確定,并應選擇化學穩定性能良好和相容性好的材料。

    11.3.2 輸送腐蝕性化學品的管道,可直接采用非金屬管材,但應設置保護套管。

    11.3.3 化學品輸送管路系統,對多臺生產設備供應化學品時,應設置分配閥箱。

    11.3.4 輸送有機溶劑的管道材質,宜采用低碳不銹鋼管;輸送酸、堿類管道材質,宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統的墊片,宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

    11.3.5 用于化學品管路的閥門材質應與管道材質一致。 

     

    12 電氣設計

    12.1 配 電

    12.1.1 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求,應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關規定確定。

    12.1.2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。

    12.1.3 電子產品生產用主要工藝設備,應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備,宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置獨立的檢修電源。

    12.1.4 潔凈廠房的凈化空調系統(含制冷機),應由變電所專線供電。

    12.1.5 潔凈廠房的電源進線(不包括消防電源進線)應設置手動切斷裝置,手動切斷裝置宜設置在潔凈室(區)外便于操作管理的場所。

    12.1.6 潔凈室(區)內的配電設備,應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備,不宜設置落地安裝的配電設備。配電設備宜設置在下技術夾層,并應在頂部設擋水設施。

    12.1.7 潔凈廠房的電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內,宜采用低煙、無鹵型電纜,穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產區的電氣管線宜暗敷,電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取密封措施。

    12.1.8 潔凈廠房內,可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計,應根據可燃氣體或液體的特性確定,并應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

    12.2 照 明

    12.2.1 潔凈室(區)的主要生產用房間一般照明的照度值宜為300~500 lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300 lx。

    12.2.2 對照度有特殊要求的電子產品生產部位應設置局部照明,其照度值應根據生產操作的要求確定。

    12.2.3 潔凈廠房備用照明的設置應符合下列規定:
    1 潔凈室(區)內應設備用照明;
    2 備用照明宜作為正常照明的一部分,且不應低于該場所一般照明照度值的20%;
    3 備用照明的電源宜由變電所專線供電。

    12.2.4 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明,其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。

    12.2.5 潔凈室(區)內照明光源,宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產場所,宜采用黃色光源。

    12.2.6 潔凈室(區)內一般照明燈具的選擇與布置,應符合下列規定:
    1 潔凈室(區)內宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具;
    2 空氣潔凈度等級嚴于或等于5級的潔凈室(區),宜采用淚珠型燈具;
    3 當采用嵌入式燈具時,其安裝縫隙應采取密封措施;
    4 潔凈室(區)內燈具的布置,不應影響氣流流型,并應與送風口協調布置。

    12.3 通信與安全保護裝置

    12.3.1 潔凈廠房內應設置通信設施,通信設施的設置應符合下列要求:
    1 潔凈室(區)內應設置內外聯系的通信設施。每個工序宜設置有線語音插座;
    2 潔凈室(區)內設置的無線通信系統,不得對電子產品生產設備造成干擾;
    3 數據通信裝置應根據管理及電子產品生產工藝的需要設置;
    4 通信線路宜采用綜合布線系統,綜合布線系統的配線間不應設在潔凈室(區)內。

    12.3.2 潔凈廠房應設置火災自動報警系統,其防護等級應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。當防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的最大建筑面積允許值時,保護等級應為一級。

    12.3.3 潔凈廠房的消防控制室不應設在潔凈室(區)內。消防專用電話總機的設置應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范3GB 50116的有關規定,并應在下列場所設置消防專用電話:
    1 潔凈室(區)的入口處;
    2 應急處理中心;
    3 中央控制室;
    4 特種氣體管理室。

    12.3.4 潔凈廠房內火災探測器的設置應符合下列規定.
    1 潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器,其中潔凈生產區、技術夾層應設置智能型探測器;
    2 當潔凈廠房防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的規定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現行規范設計要求時,在潔凈室(區)內凈化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0.01%obs/m的早期煙霧報警探測器;
    3 硅烷儲存、分配間(區),應設置紅外線-紫外線火焰探測器;
    4 潔凈生產區、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

    12.3.5 潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯動控制?刂圃O備的控制及顯示功能應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定,潔凈室(區)火災報警應進行核實,當確認火災后,在消防控制室應對下列各項進行手動控制:
    1 關閉有關部位的電動防火閥,停止相應的凈化空調系統的送風機、排風機和新風機,并接收其反饋信號;
    2 啟動排煙風機,并接收其反饋信號;
    3 在消防控制室或低壓配電室,手動切斷有關部位的非消防電源。

    12.3.6 潔凈廠房內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置:
    1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區);
    2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內;
    3 工藝設備的氣體分配箱和排風管內。

    12.3.7 潔凈廠房內氣體報警裝置的聯動控制,應符合下列規定:
    1 應自動啟動相應的事故排風裝置;
    2 應自動關閉相關部位的進氣閥;
    3 應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門;
    4 報警信號應發送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現場的聲光警報裝置和應急廣播。

    12.3.8 潔凈廠房內易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。

    12.3.9 潔凈廠房設置的事故應急廣播系統應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。潔凈室(區)內應采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

    12.3.10 潔凈廠房內的安全保護系統應設置應急電源。

    12.3.11 潔凈室(區)火災報警、氣體泄漏報警系統的控制、通訊和警報線路應采用阻燃型電纜,電纜敷設應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

    12.3.12 潔凈廠房內的各類安全保護系統均應可靠接地,系統接地應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

    12.4 自動控制

    12.4.1 潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構,并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。

    12.4.2 潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。

    12.4.3 潔凈室(區)內外的壓差監測,宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室(區)的送風量或回風量。

    12.4.4 凈化空調系統采用電加熱器時,電加熱器與風機應聯鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護;當采用電加濕器時,應設置無水、無風斷電保護。

    12.4.5 在滿足生產工藝要求的前提下,宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。

    12.5 接 地

    12.5.1 功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統。接地電阻值應按其中最小值確定,且不應大于1Ω。

    12.5.2 當電子設備的功能接地要求分開設置時,應設有防止雷電反擊設施。分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的間距。

    12.5.3 潔凈廠房防雷接地設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057的有關規定。 

     

     

    13 防靜電與接地設計

    13.1 一般規定

    13.1.1 潔凈廠房應根據生產工藝要求設置防靜電環境。防靜電環境設計應滿足抑制或減少靜電的產生,以及將已產生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

    13.1.2 防靜電環境設計應按電子產品或生產工序(設備)進行分級。防靜電環境內靜電電位絕對值應小于電子產品的靜電電位安全值。防靜電環境設計應分為三級,防靜電環境設計分級適用場所應符合表13.1.2的要求。   

    電子工業潔凈廠房設計規范4.jpg

    13.2 防靜電措施

    13.2.1 潔凈廠房防靜電環境中,防靜電地面的面層結構和材料應符合下列要求:
    1 防靜電地面面層的選擇,應滿足電子產品生產工藝的要求;
    2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5×104~1×109Ω;
    3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接,其地面對地泄放電阻值應為1×105~1×108Ω。

    13.2.2 潔凈廠房防靜電環境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設計,應符合下列要求:
    1 一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5×104~1×106Ω,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;
    2 二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1×106~1×109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;
    3 三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。

    13.2.3 潔凈廠房防靜電環境的門窗設計,應符合下列要求:
    1 應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面;
    2 金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層,并應接地;
    3 室內隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時,玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

    13.2.4 潔凈廠房防靜電環境的裝修設計應符合下列要求:
    1 各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能,不得使用未經表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料;
    2 各類裝修的飾面應平整光滑。

    13.2.5 潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。

    13.2.6 潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。

    13.2.7 潔凈廠房防靜電環境中,應根據生產工藝的需要設置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

    13.3 防靜電接地

    13.3.1 潔凈廠房內金屬物體包括潔凈室(區)的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架,應與接地系統做可靠連接,導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。

    13.3.2 靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩定性,其主干線截面不應小于95mm2,支線最小截面應為2.5mm2。

    13.3.3 與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻,限流電阻的阻值宜為1MΩ。

    13.3.4 對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道,應采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

     

    14 噪聲控制

    14.1 一般規定

    14.1.1 潔凈廠房的噪聲控制,應滿足電子產品生產的要求,并應保持工作人員具有舒適、安全的環境。

    14.1.2 潔凈廠房的噪聲控制設計應符合現行國家標準《工業企業噪聲控制設計規范》GBJ 87的有關規定。

    14.1.3 潔凈室(區)的噪聲控制設計的噪聲級(空態)應符合本規范第3.2.5條的規定。

    14.1.4 潔凈室(區)的噪聲頻譜限制值,應采用倍頻程聲壓級,各頻帶聲壓級應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    14.2 噪聲控制設計

    14.2.1 潔凈廠房的平面、空間布置時,應根據噪聲控制要求布置,宜集中布置發聲設備。

    14.2.2 潔凈室(區)內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過規定的設備,應根據設備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設施。潔凈室的圍護結構應具有良好的隔聲性能。

    14.2.3 凈化空調系統、公用動力設備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源,應采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?照{機房、動力站房宜采取下列措施:
    1 圍護結構宜采取吸聲和隔聲處理;
    2 對輻射噪聲值超過規定的設備,應設置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等;
    3 機房、站房內控制室的圍護結構,宜采用隔聲性能良好的材料。

    14.2.4 潔凈室(區)內的各類排風系統(不包括事故排風系統)應設置消聲器等降噪設施。

     

     

    15 微振控制

    15.1 一般規定

    15.1.1 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。

    15.1.2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規定:
    1 總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;
    2 設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;
    3 對設有精密設備、儀器的潔凈室(區)有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;
    4 潔凈室(區)內精密設備、儀器,經測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。

    15.2 容許振動值

    15.2.1 微振動控制設計應根據精密儀器、設備的特性,采取綜合隔振措施,并應滿足容許振動值的要求。

    15.2.2 精密設備、儀器的容許振動值物理量的表述,應采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

    15.2.3 精密儀器、設備的容許振動值,應由制造商提供。無法確定時,可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

    15.3 微振動控制設計

    15.3.1 潔凈廠房的微振動控制設計,應按下列階段進行微振動測試分析。
    1 場地環境振動測試及分析;
    2 潔凈廠房建筑結構振動特性測試及分析;
    3 精密設備、儀器安裝地點環境振動測試及分析;
    4 微振動控制的最終測試及分析。

    15.3.2 有微振動控制要求的潔凈室(區),其建筑結構的微振動控制設計,應符合下列規定:
    1 建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上,且基礎應有足夠剛度;
    2 應設置獨立的建筑結構微振動控制體系,并應與廠房主體結構分隔;
    3 主體結構應根據微振動控制的要求,適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。

    15.3.3 有強烈振動的設備和管道,宜采取主動隔振措施,并應符合下列要求.
    1 宜采用隔振臺(座);
    2 應選用剛度適當的隔振器,
    3 通往潔凈室(區)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

    15.3.4 潔凈室內精密設備、儀器的被動隔振措施的設計,應符合下列要求:
    1 隔振臺(座)應具有足夠的剛度;
    2 應采用低剛度隔振設施;
    3 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15;
    4 隔振臺(座)應采取傾斜校正措施;
    5 隔振設施不應影響氣流流型,
    6 當采用空氣彈簧隔振器時,其供氣系統應進行凈化處理,并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。

     

    附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

     

     

    附錄B 電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例
     
     

    電子工業潔凈廠房設計規范8.jpg

     

    注① 表中房間在設備密閉性良好,并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時,應按丙類設防,否則仍應按甲類設防。
    ② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區總面積5%時,生產類別應為乙類設防。
    ③ 光纜外皮采用發泡塑料時,該生產線應為丙類。
     

     

    附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

     

    電子工業潔凈廠房設計規范9.jpg

     

    附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

     

    D.1 通 則

    D.1.1 潔凈室(區)應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。

    D.1.2 潔凈室(區)性能測試認證工作,應由專門檢測認證單位承擔,并應提交檢測報告。

    D.1.3 測試和認證工作之前,系統應達到穩定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內。

    D.1.4 潔凈室(區)的占用狀態應有空態、靜態、動態,其性能測試和認證宜為靜態或動態。

    D.2 潔凈室(區)性能測試要求

    D.2.1 確認潔凈室(區)符合本規范要求,應進行下列基本測試:
    1 空氣潔凈度等級測定;
    2 靜壓差;
    3 風速或風量。

    D.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量的認證測試的最長時間間隔應符合表D.2.2—1和表D.2.2—2的規定。

    電子工業潔凈廠房設計規范10.jpg

    注1 若潔凈室(區)運行中已對粒子濃度、風速、靜壓差進行連續監測,且其測試值均符合本規范要求時,認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間,可與認證單位洽商。
    2 空氣潔凈度等級認證,可在靜態或動態檢測,洽商確定,
    3 風量測定,應采用風速計在風口或風管測定。

    D.2.3 電子工業潔凈室(區)的認證測試,除空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量測試外,還應根據需要進行表D.2.3規定的洽商選擇測試項目。

    電子工業潔凈廠房設計規范11.jpg  

    D.3 潔凈室測試方法

    D.3.1 風量或風速測試,應符合下列規定:
    1 對于單向流潔凈室,應采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量,并應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格,每個柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸,測點應在柵格中心或不應少于3點。每一點的測試時間不應少于10s。應記錄平均值、最大值和最小值,并應以算術平均值作為平均風速。
    2 對于非單向流潔凈室,每一點的測試時間不應少于10s。
    3 在每個末端空氣過濾器或散流器處,應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量,每個測試位置的測點數不應少于3點。

    D.3.2 靜壓差測試,應符合下列規定:
    1 靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。
    2 儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。
    3 潔凈廠房有多個潔凈室(區)時,應從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。

    D.3.3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規定:
    1 儀器應使用采樣量大于1 l/mm的光學粒子計數器。
    2 應在過濾器上風側引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子,粒子濃度應大于3.5×107P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

    D.3.4 潔凈度的檢測,應符合下列規定:
    1 應使用采樣量大于1 l/min光學粒子計數器,應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
    2 最少采樣點應按下式計算:
    NL=A0.5 (D.3.4—1)
    式中 NL——最少采樣點;
    A——潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。
    采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的整個面積內,并應位于工作區的高度。
    3 每一采樣點的每次采樣量應按下式確定:

    電子工業潔凈廠房設計規范12.jpg

     

    4 當潔凈室(區)僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次。

    D.3.5 氣流流型的檢測,應符合下列規定:
    1 氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。
    2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法,并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。
    3 示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
    4 示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強度光源下進行觀察或做成圖像。
    5 應采用圖像處理技術進行氣流目測,本法一般是與示蹤法結合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。
    6 氣流目測的測點位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。

    D.3.6 溫度、相對濕度的檢測,應符合下列規定:
    1 溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區)內氣流分布均勻狀態測試,并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經運轉,并應至少穩定運行1.0h后進行。
    2 相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網格,每格最大面積應為100m2,應每格一個測點,但每個房間不應少于2個測點。
    3 檢測用探測器應設在潔凈室(區)內的工作高度,且距潔凈室(區)的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區)內可能存在的熱源的影響。
    4 檢測時間應至少1.0h,并應至少6mm進行1次(30s)讀數、記錄。

    D.3.7 噪聲檢測,應符合下列規定:
    1 潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。
    2 潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分,宜每100m2設一檢測點。

    D.3.8 照度測試,應符合下列規定:
    1 潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。
    2 照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。
    3 照度檢測點應設在工作高度,宜距地面0.85m,應每25m2設一個測點。

    D.3.9 微振檢測,應符合下列規定:
    1 潔凈室(區)內有微振控制要求的場所的檢測,應采用符合精密設備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統進行分階段測試。
    2 微振檢測點應根據潔凈室(區)內需進行微振控制的精密設備、儀器的布置和微振控制設計的要求設置,一般檢測點應設在微振控制相關的地面、樓面、基礎面等。
    3 微振控制的檢測應由具有相應資質的單位進行,F場檢測數據等應經過科學分析后,提供微振控制檢測報告,應包括檢測數據的分析、結論等。

    D.3.10 自凈時間檢測,應符合下列規定:
    1 自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。
    2 自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進行檢測,同時應符合下列要求。
    1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機,定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態,記錄下所需的時間(t)。
    2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心,發煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機,方法同上。
    3 由初始濃度(N0)、室內達到穩定的濃度(N)、實際換氣次數(n),可得到計算自凈時間(t0),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤1. 2t0,為合格。
    4 自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。

    D.3.11 密閉性檢測,應符合下列規定:
    1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試,是測定潔凈室(區)有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區)或非潔凈室(區)侵入。本檢測一般用于ISO 1~5級潔凈室(區)。
    2 采用粒子計數器法檢測潔凈室(區)的密閉性,檢測時應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應比潔凈室(區)內濃度大104,并大于等于3. 5×106個/m3待測粒徑的粒子。
    3 潔凈室(區)的施工接縫,包括對墻板、吊頂的接縫和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測,應在被測部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。
    潔凈室敞開門處的滲漏檢測,應在距離門0.3~3.0m處測定潔凈室內的懸浮粒子濃度。
    記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數和位置。

    D.4 認 證

    D.4.1 潔凈廠房性能測試認證前,應由業主與認證單位簽訂協議書,協議書中應明確檢測項目、測點位置及數量、測量要求和限值等,如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、測量時間間隔、被計數粒子的粒徑,以及粒子數的限值等。

    D.4.2 按協議書規定及本附錄第D.2節的要求,以及本附錄第D.3節的方法進行測試,若測試結果在規定的限值之內,說明該潔凈室(區)符合規定要求。若測試結果超過規定的限值,說明該潔凈室(區)不符合要求,應進行改進,在完成改進工作之后,應進行再認證。  

    D.4.3 每次性能測試或再認證測試應作記錄,并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容:
    1 測試機構的名稱、地址;
    2 測試日期和測試者簽名;
    3 執行標準的編號及標準出版日期;
    4 被測試潔凈室(區)的地址、測試項目、測點的特定編號及坐標圖;
    5 被測潔凈室(區)的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室(區)所處的狀態、氣流流型和靜壓差、全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度;
    6 測量用儀器的編號和標定證書;測試方法細則及測試中特殊情況,
    7 測試結果包括所有測試項目的記錄數據、分析結論等;
    8 對異常測試值進行說明及數據處理;
    9 注明上次的測試日期,
    10 設施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據。
     

    D.4.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。

    D.5 記 錄

    D.5.1 記錄保存應符合質量控制程序的要求。 

    D.5.2 應按常規或定期的測試方法和儀表檢測,將初始觀察記錄、計算、數據處理和最終報告,以及測試評價、報告人員簽名和日期進行存檔。

     

    1 為便于在執行本規范條文時區別對待,對要求嚴格程度不同的用詞說明如下:
    1)表示很嚴格,非這樣做不可的用詞
    正面詞采用“必須”,反面詞采用“嚴禁”。
    2)表示嚴格,在正常情況下均應這樣做的用詞.
    正面詞采用“應”,反面詞采用“不應”或“不得”。
    3)表示允許稍有選擇,在條件許可時首先應這樣做的用詞:
    正面詞采用“宜”,反面詞采用“不宜”,
    表示有選擇,在一定條件下可以這樣做的用詞,采用“可”。
      

    2 本規范中指明應按其他有關標準、規范執行的寫法為“應符合......的規定”或“應按......執行”。

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    電子工業潔凈廠房設計規范

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    目 錄

     

    1、總 則

    3、電子產品生產環境設計要求

    4、總體設計

    5、工藝設計

    6、潔凈建筑設計

    7、空氣凈化和空調通風設計

    8、給水排水設計

    9、純水供應

    10、氣體供應

    11、化學品供應

    12、電氣設計

    13、防靜電與接地設計

    14、噪聲控制

    15、微振控制

     

    本規范是電子工業潔凈廠房設計的國家標準,適用于各種類型電子產品生產用新建、擴建和改建的潔凈廠房設計。由于各類電子工業潔凈廠房內所生產的電子產品及其生產工藝各不相同,它們對生產環境包括空氣環境和直接與產品生產過程接觸的各類介質都有一定的要求。近年來以微電子產品為代表的高新技術發展迅速,微電子產品生產過程對生產環境要求十分嚴格,對生產過程所需高純物質——高純氣體、高純水、各類化學品的純度及其雜質含量要求更為嚴格,對微振控制、噪聲控制和防靜電控制也有嚴格的要求。因此本規范根據電子工業潔凈廠房的特點制定工程設計中應該遵循的相關規定,確保工程設計做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源,滿足電子產品生產工藝的需求。

     

    3 電子產品生產環境設計要求

    3.1 一般規定

     

    3.1.1~3.1.3 隨著科學技術的發展,電子產品生產日新月異,以微電子產品為代表的各種電子產品生產技術發展迅速,F代電子產品要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性,以人們熟悉的手機、筆記本電腦為例,它所使用的集成電路、電子元器件以及其組裝的生產過程都要求在受控環境條件下進行操作,其中以集成電路生產過程對受控環境的要求尤為嚴格,當今線寬為45nm的超大規模集成電路產品已投入生產,其受控生產環境——潔凈室(區)的受控粒子尺寸要求小于0.02μm甚至更小。表1是超大規模集成電路的發展及相應控制粒子的粒徑。集成電路產品的生產和研究表明,超大規模集成電路生產所需受控環境不僅嚴格控制微粒,而且還需嚴格控制生產環境的化學污染物和直接與產品生產過程接觸的各種介質——高純水、高純氣體、化學品的純度和雜質含量,表2是超大規模集成電路對化學污染物的控制指標。表3是大規模集成電路的工藝發展。

     

    從表1~表3中所列數據可見,動態隨機存儲器(Dynamic Random Access memory,簡稱DRAM)產品的線寬從0.25pm發展到0.05 μm,要求潔凈室(區)生產環境控制粒子直徑從0.125μm嚴格到0.025μm,空氣潔凈度等級從5級到6級,嚴格到1級或更嚴;生產過程使用的高純氣、高純水中的雜質含量從10-6,嚴格到10-11等。集成電路生產實踐表明,芯片生產過程使用的工具、器具和物料儲運裝置也可能成為微粒、化學污染物的攜帶者或污染源,所以對其制作材質和清潔方式或保護方法,應根據產品生產工藝要求采取相應的技術措施。為此,在本規范中作出第3.1~1~3.1.3條的一般規定。

    3.2 生產環境設計要求

    3.2.1 在現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001中等同采用國際標準《潔凈室及相關受控環境第一篇》ISO 14644-1中有關潔凈室及相關受控環境空氣中懸浮粒子潔凈度級別劃分。
    3.2.2、3.2.3 電子產品的種類繁多,隨著微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠的電子產品品種的增加,需要在空氣懸浮粒子受控環境中進行全過程生產或部分生產的電子產品主要有:各種半導體材料及其器件生產、集成電路生產、化合物半導體生產、光電子生產、薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liguid Crystal Display,簡稱TFT-LCD)生產、微硬盤驅動器(Hard Disk Driver,簡稱HDD)生產、等離子顯示器(Plasma Display Panel,簡稱PDP)生產、磁頭和磁帶生產、光導纖維生產、印制電路板等。
    各類產品的品種不同、生產工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級也不相同。因此第3.2.2條規定各種電子產品用潔凈廠房設計時,生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定;當在設計時,業主或發包方未提出要求或暫時未提出要求時,可參照本規范附錄A的要求確定。在附錄A所列要求中,由于各種產品生產工藝都各不相同,所以對于空氣潔凈度等級、控制粒徑均列出一定的范圍供參考,為說明這些差異,下面列舉一些工程的實例供參考。
    1 表4~表6分別列出8″和4″、5″硅單晶及硅片加工、集成電路的芯片制造、TFT-LCD生產所需的空氣潔凈度等級、溫度、濕度的實例。

     

    5 磁頭生產用潔凈廠房:磁頭裝配、濺射燒結等要求4級(0.1μm),研磨、檢測等要求5級(0.1μm),切割等要求6級。
    6 印制電路板生產用潔凈廠房:6.5級、24±2℃、65%±5%。
    7 鋰電池生產的干作業潔凈生產區:6級、23℃,露點(DP)-30℃;組裝、測試潔凈室(區):7級、23±2℃、≈20%。
    8 等離子顯示器(PDP)生產用潔凈廠房:涂屏間等:5.5級、25±2℃,50%±10%;其他生產間:6.5~8級、20~26℃、55%±10%。

    3.2.4 現代電子產品生產的重要特點之一,在許多電子產品的生產過程中需使用高純水、高純氣體和高純化學品,且各類電子產品生產時,因品種不同、產品生產工藝也不同,對高純物質的純度、雜質含量的要求不同,它們之間差異很大。表9是中國電子級水的技術指標,表10是美國ASTMD5127電子及半導體工業用純水的水質要求,表11是TFT-LCD生產用純水水質要求,表12是一個8″集成電路芯片制造用高純水水質要求。



     

    4 總體設計

    4.1 位置選擇和總平面布置

    4.1.1 電子產品生產用潔凈廠房與其他工業潔凈廠房的重要區別之一是一些電子產品生產對化學污染物有嚴格的要求,如微電子產品中需嚴格控制生產環境中的重金屬、有機物的含量,在表2中列出集成度從64M發展到64G時,重金屬要求從5×1010(原子·cm-2)嚴格至小于2.5×109(原子·cm-2);有機物從1×1014(原子·cm-2)嚴格至3×1012(原子·cm-2)。據了解,一些微電子潔凈廠房的產品生產中發現極微量的Na+、等化學物質對產品生產影響極大,應予嚴格控制。
    近年來,國內外研究表明,由于全球環境保護的嚴峻形勢和各類工業生產發展、人民生活水平提高都使大氣中污染物種類、濃度發生了變化,尤其是城市中的工業燃燒排放物和汽車燃燒排放物的增加,大氣中的微粒濃度、化學污染物也呈增加趨勢。大氣中化學污染物與所在地區的經濟發展狀況、固定燃燒源和移動燃燒源(汽車等)的組成、類型和數量關系密切,據大氣檢測表明,大氣中的化學物質主要有陽離子Ca2+、Na+、Mg2+、K+、,陰離子、、Cl-、F-等,還有一些濃度較低的Hg等。隨著國民經濟的發展,人民生活質量的提高,這些物質總的趨勢是逐年增加,一些城市或一些具體場所還會由于工業生產或汽車數量的增加或氣象條件的變化,有時或某一時間段這些化學物質的數量、濃度都會增加,所以在進行電子工廠特別在一些產品生產過程對化學污染物要求嚴格的潔凈廠房的選址應予充分重視。為此,本條作出了三款的推薦性規定。
    4.1.2 本條規定電子工業潔凈廠房的新風口與城市交通干道之間的距離。由于城市交通干道上運輸車輛運行中所產生的污染物主要通過新風的吸入對潔凈廠房產生影響,根據現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的相關規定,此距離宜大于50m。
    近年來,我國各地區的城市交通于道兩側或城市交通于道與工廠之間都建設了綠化帶,這些綠化帶有以草坪為主或樹、草間種或以樹為主等多種形式。測試數據表明,各種形式的綠化帶都具有一定吸塵、降低空氣中微粒濃度的作用,所以本條規定,當電子工業潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時,可視具體條件適當減少距離。
    4.1.3 對于有微振控制要求的電子工業潔凈廠房的位置選擇時,應實際測定擬建工廠廠址或已有工廠內擬選擇潔凈廠房的場地周圍,現有振源和預測可能的振源的振動影響。此項測定正逐漸被相關科技人員和工程項目承建者關注和重視,但是由于微振控制要求和各類振源對微振控制的影響評價的技術復雜性,所以本條規定中強調“實際測定”和“模擬振源”的影響。
    4.1.4 近年來,電子工業潔凈廠房的總平面布置時,在充分考慮電子產品生產工藝特點和具體工程項目中潔凈廠房內各功能區(包括潔凈生產區、輔助生產區、非潔凈生產區、公用動力系統和辦公等功能區)合理布置的情況下,在合理進行人流、物流組織,方便運行維護管理、合理布置公用動力管線、降低能量消耗、確保安全生產的條件下,常常將電子工業潔凈廠房按組合式、大體量的綜合性廠房布置,這些電子工廠投入使用后得到了各方面的認同。
    4.1.5、4.1.6 為減少電子工業潔凈廠房周圍的塵源或散發微粒的數量,在規范中規定,在潔凈廠房周圍及其周邊或對于設有潔凈廠房的電子工廠內相關道路的路面選擇時,應選擇整體性能好、不易產生裂縫的材料,不得選用容易發塵材料鋪砌,通常推薦采用瀝青路面。
    目前,電子工業潔凈廠房周圍進行綠化時,一般可以采用鋪草坪的方式或草坪間種灌木等樹種的方式。由于電子產品的品種較多,不可能推薦一種綠化方式,考慮到種植各類樹種、花草等可能產生花粉等塵粒,并且微粒的化學組成十分復雜,為確保產品質量,本規范中規定:不宜種植對生產環境和產品質量有影響的植物。
    4.1.7 本條編寫的依據是現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006中相關的規定。電子工業潔凈廠房內均設有人凈設施、物凈設施等技術措施,潔凈廠房內的疏散走道常常是曲折、多變,一旦出現火情后,為了方便消防人員能夠及時到達出事地點,為此,本條對潔凈廠房消防車道的設置不規定廠房占地面積下限值。

    4.2 潔凈室型式

    4.2.1 隨著科學技術發展,近年來,電子產品生產用潔凈室有多種形式,下面根據在電子工廠中已實際應用的各種類型的潔凈室形式進行簡要描述。
    1 根據電子產品生產工藝要求,空氣潔凈度等級和平面或空間布置要求,微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開放式、島形布置等,見圖1。據調查表明,集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式,其中隧道式潔凈室主要用于5″、6″芯片制造廠,生產工藝設備跨潔凈生產區和設備維護區,潔凈生產區對潔凈度要求嚴格,而維護區的空氣潔凈度等級較低。目前8″、12″芯片制造工廠普遍采用開放式潔凈室加微環境(minienvironment)的方式,將芯片制造過程對空氣潔凈度要求十分嚴格的硅片加工過程(1~4級)布置在微環境裝置內,而開放式潔凈室的潔凈度等級只需5~6級,這種潔凈室形式既可做到工藝布置的靈活性,又可做到減少建設投資和降低能量消耗、降低運行費用等。

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    2 按氣流流型劃分潔凈室時,可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
    1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層,上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。
    2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層;在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。
    非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室,主要用于空氣潔凈度等級為6~9級的潔凈室,此類潔凈室當單側回風時其寬度一般不大于6m;旌狭鳚崈羰沂窃谕粷崈羰覂,同時存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室(區)。

    4.2.2 制定本條的主要依據是:
    1 近年來,在大規模集成電路生產(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風,實際上,潔凈生產層與上技術夾層是相通的;而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等,潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,實際上,下技術夾層與潔凈生產層是相通的,所以可以認為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。
    2 在美國國家消防協會(NFPA)的標準規范NFPA 318((潔凈廠房消防標準》(Standard for the procection of cleanroom)(2000年版)的第1.5.5條中規定:“潔凈室的范圍包括活動地板下的下技術夾層和吊頂上面的上技術夾層。”同時在NFPA 318的總則中明確,該標準適用于半導體工廠的潔凈室。

    4.2.3 電子工廠潔凈廠房是能源消耗量大、建設投資大的廠房,為了使潔凈廠房的建設獲得較好的節能和經濟效益,從潔凈室型式的選擇開始就應該認真地分析比較,選擇既滿足電子產品生產工藝要求,又能做到降低能耗、減少建設投資和降低運行費用等需求。目前在超大規模集成電路工廠采用微環境類型的潔凈室,是一種能滿足以上要求的混合流潔凈室。圖2是Ballroom+微環境潔凈室與港灣式潔凈室的對比圖示,圖中(a)將要求大面積的單向流平均風速為0.45m/s變化為只有微環境范圍內小面積,而大部分空間均采用5~6級、平均風速約為0.1m/s。兩種方式的主要技術經濟數據的比較見表17,從表中數據可見:Ballroom+微環境潔凈室能量消耗少,也可做到總體建設投資少,所以當空氣潔凈度等級要求十分嚴格時,宜采用此種類型。

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    4.3 潔凈室布置和綜合協調

    4.3.2 潔凈室(區)的空間布置,主要應做到:滿足產品生產工藝要求,合理布置產品生產工藝設備,特別是高、大設備的安排,合理布置物料運輸系統,使電子產品生產做到有效、靈活和操作方便。與此同時,由于電子工業潔凈廠房中各種公用動力設施和管線、產品生產工藝所需管線、凈化空調系統風管和末端裝置、電氣照明設施等種類繁多,在進行潔凈室(區)的空間布置時應充分兼顧以上各項內容,并做妥善安排。根據已有或正在建設中的電子工業潔凈廠房的空間布置狀況表明:單層垂直單向流潔凈室的上技術夾層的空間尺寸一般為2.0~2.5m;當采用活動地板時,下技術夾層為1.0~1.5m,有的面積較小的潔凈室只有0.6~0.8m。所謂“多層”垂直單向流潔凈室,上技術夾層空間尺寸是根據其使用功能和建筑結構確定,如在此空間是否安裝循環風處理裝置以及風管及過濾器或FFU的外形尺寸等確定,一般上技術夾層空間尺寸3.0m左右,有的可達4.0m;下技術夾層一般不僅是凈化空調系統的回風靜壓箱,常常還設置有公用動力設施、生產輔助設施等,為了運行管理方便和必須的安全保護距離,一般下技術夾層空間尺寸為4.0m。
    非單向流潔凈室只設有上技術夾層或技術夾道,目前各種用途的非單向流潔凈室的上技術夾層的空間尺寸一般為1.5~2.0m,視具體工程項目安排的使用功能和布置在此空間的公用動力設施、管線的多少和外形尺寸確定。
    4.3.3 現今電子工業潔凈廠房,一般推薦使用大開間的開放式生產設備布置,所以本條規定在潔凈室(區)內應少設隔間、少分隔,只有本條規定的三種情況,才予以分隔。其中第1款是安全生產和消防的需要,必須進行分隔。列為強制性條文。第2款,是從方便管理和節約能源出發,對經常不同時使用的生產區域或房間之間進行分隔。第3款,是從排放有害氣體或化學污染物會發生交叉污染或影響電子產品質量時,應將此類工序、設備進行分隔設獨立房間,但若采取可靠的排風處理措施,能夠確保不發生交叉污染或影響產品質量時,也可不予分隔。

    5 工藝設計

    5.1 一般規定

    5.1.1 隨著科學技術的發展,電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速,以集成電路為代表的微電子產品尤為顯著,集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品;以TFT—LCD為代表的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產;微型計算機的迅速發展,使各種元器件生產發展十分迅速。因此,電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要,從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
    5.1.2、5.1.3 以集成電路芯片制造、TFT—LCD液晶顯示器件生產用潔凈廠為代表的微電子生產潔凈廠房,具有潔凈度要求嚴格、大面積、大體量和能耗大、運行費用高的特點,潔凈廠房工藝設計是先導工序,所以對電子工業潔凈廠房工藝設計的基本要求是:在滿足電子產品生產要求的前提下,合理進行潔凈廠房工藝布局,合理確定各種公用動力設施的技術條件和要求等生產條件,做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置,滿足電子產品潔凈生產要求和產品生產工藝要求,工藝設計應合理選擇生產設備的自動化水平和物料運輸的自動化水平,在經濟、實用、安全可靠的條件下提高生產效率。

    5.2 工藝布局

    5.2.1 潔凈廠房的工藝布局應綜合各方面的因素,重點要考慮生產工藝、人員操作、設備維修、物料運輸、未來發展等方面的要求。
    工藝布局的核心是要滿足電子產品生產工藝要求,在此前提下根據所選擇的潔凈室氣流型式,在有利于工藝設備的安裝維修、物料運輸和提高效率、降低造價等,合理進行潔凈廠房的工藝布置。
    在單向流潔凈室(區)布置時,對于潔凈室(區)中的生產工藝設備的布置、操作程序的安排和人員流動、物料傳輸等可能對單向氣流造成的物理障礙,應采用措施避免發生紊流或交叉污染。圖3是表示設備、人員等對單向氣流的干擾和改進措施,左側圖示為物理障礙產生的干擾;右側圖(a)是采取調整工藝設備布置,改善氣流流動,(b)是改進設備構造、外形,改善氣流;(c)是改變人員的操作行為,改善氣流;(d)改進氣流流動方式,確保產品生產區域的潔凈度要求。

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    5.2.2 人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯,不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率,并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此,在工藝布局時,應充分考慮人員、物料設備,有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等,具體選用何種形式,需根據潔凈室(區)的空氣潔凈度等級、人員數量、未來發展需求等確定。
    物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等,一般可根據物料種類、包裝方式和潔凈室(區)的空氣潔凈度等級等確定。

    5.2.3~5.2.5 潔凈廠房中生產區、輔助區和各類生產設備的布置與潔凈室(區)內的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關,所以本規范規定:在潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場所設置,并宜布置在上風側;空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產品潔凈室(區)內布置的基本要求。
    另外,由于電子產品更新換代快,電子工廠在實際生產中,在線維修及調試、邊生產邊增加設備擴大生產能力的情況很多,因此在做工藝布局時,應根據具體情況,考慮這些因素,留出相應的運作空間。

    5.2.6 為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間的頻繁聯系發生交叉污染,應根據電子產品生產工藝要求合理選擇相應技術措施,如人的聯系應采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運送也可以采用氣閘室,一般物件的運送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。

    5.3 人員凈化

    5.3.1、5.3.2 電子工業潔凈廠房,由于電子產品品種、規格、產量的不同,其潔凈室的規模和空氣潔凈度等級要求差異較大,如現今的大規模集成電路用潔凈廠房或TFT—LCD用潔凈廠房的建筑面積一般均在幾萬平方米,空氣潔凈度等級為1~3級或4~5級,而印制電路版生產用潔凈室的建筑面積一般只有幾百平方米,且有時還根據工藝布局要求需分多處設置,空氣潔凈度等級為7級或8級。為此,本規范只推薦一種人員凈化程序供設計參考,并規定:“人員凈化用室和設施應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級設置,并應設置生活用室。”電子工業潔凈廠房中人員凈化用室、生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間和干燥間等均應在具體工程項目設計時,根據實際情況和需要設置。
    5.3.3 潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積指標——按設計人數平均每人2~4m2是經驗數據,在具體工程項目設計時,應根據潔凈室的規模大小、潔凈室內人數多少和空氣潔凈度等級等因素合理確定。一般情況下,潔凈室內人數較多時采取推薦數據的下限,人數較少時采取上限;潔凈室規模較大時,一般可采取下限。
    5.3.5 電子工業潔凈廠房中,設置了空氣吹淋室的主要是6~9級的潔凈室,但有的潔凈室也未設空氣吹淋室;而空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室設置空氣吹淋室的較少,設氣閘室的較多。關于空氣吹淋室對人員凈化作用的評價眾說紛紜,但根據測定數據表明:只要空氣吹淋室產品質量符合標準規定要求和管理得當,它對進入潔凈室人員的凈化效果是肯定的。為此,本條沒有規定潔凈廠房內潔凈室(區)的入口處都應設空氣吹淋室,而是對潔凈廠房空氣吹淋室的設計,規定了4款要求。
    第1、4款,實際上是推薦6~9級潔凈室入口處宜設空氣吹淋室。具體工程項目中,若不設空氣吹淋室時,應設氣閘室,作為潔凈室(區)與非潔凈室(區)的分隔和緩沖。5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區),推薦設氣閘室。
    第2款,規定空氣吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰場所,就是進一步明確空氣吹淋室的氣閘作用,既分隔潔凈室(區)與非潔凈室(區),又能防止外部空氣進入潔凈室,并使潔凈室維持正壓狀態。它是從非潔凈室(區)更換潔凈工作服后經空氣吹淋進入潔凈室(區)。
    第3款,其規定包含.①潔凈室按最大班人數每30人設1臺單人空氣吹淋室,以此選用空氣吹淋室的數量;由于空氣吹淋室有多種形式,如單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室等,所以潔凈室內人數較少時可采用單人吹淋室,而人數較多時則應采用多人吹淋室和多個并聯或通道式吹淋室等形式。②潔凈室(區)內的工作人員超過5人時,為上下班人員進出和管理方便,應在空氣吹淋室一側設旁通門。
    5.3.6 潔凈廠房內的人員凈化應遵循由外至內逐步潔凈的循序漸進的原則,每個潔凈室的人員凈化路線都應有合理的程序,應避免已經過凈化的部分又再被污染的情況發生。對于人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級要求,本條只規定:①潔凈工作服更衣室的潔凈度等級,推薦低于相鄰潔凈室(區)空氣潔凈度等級;②當設有潔凈工作服洗滌室時,其空氣潔凈度等級不宜低于8級。
    本條還要求,對于人員凈化用室和生活用室,可根據具體條件,送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣,從而減少人員攜帶污染物進入潔凈室(區)。

    5.4 物料凈化

    電子工業潔凈廠房內,為避免多種物料搬入潔凈室時,攜帶污染物影響潔凈室(區)的空氣潔凈度,甚至影響電子產品質量,造成次品或廢品的出現,因此本節規定各種物料搬入潔凈室(區)的下列基本規定
    1 潔凈室(區)的設備和物料出入口,應獨立設置。此類出入口不得與人員出入口混同使用,避免污染物混雜、交叉。但對于潔凈室規模較小,如建筑面積只有幾十平方米的潔凈室,設備和物料出入口是否應獨立設置,應根據具體工程項目情況、物料狀態、潔凈室內人員數量等實事求是地確定。
    2 潔凈室(區)應設有設備和物料凈化用室,并在此房間內設有相應的物料凈化設施,對搬入潔凈室(區)的設備和物料進行凈化處理。該物凈用室的面積、空間尺寸和物凈設施,應根據物料的特征、性質、形狀等確定,比如按物料的包裝方式、物化性質的不同,可采取真空吸塵、壓縮空氣吹除、擦拭等不同方法進行物料凈化處理等。
    3 潔凈室(區)的物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。本條規定不僅是確保物料的搬入不影響潔凈室(區)的空氣潔凈度的變化;而且是保持物料出入口處,潔凈室(區)與非潔凈室(區)靜壓差的基本條件,也是物料出入口處,潔凈室與非潔凈室的分界和分隔。因此,第5.4.2條是強制性條文。

    5.5 設備及工器具

    5.5.1~5.5.3 在這三條的條文中,規定了為實現在潔凈室(區)內使用防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備,在工藝設計和選用設備時應該遵循的一些基本要求。
    1 設備表面光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質。這里不能只理解為設備外表面,應該包括設備的所有可能與潔凈室(區)生產環境接觸的表面和可能與電子產品生產過程接觸的表面,也包括這些表面的制作材料。某些電子產品與一些化學物質在制作過程中或在電子產品的使用過程中可能發生化學反應,影響某些電子產品的性能參數,所以要求設備表面不揮發化學物質。
    2 在電子工業潔凈室(區)內,常常按產品生產工藝要求配置有在生產運行中將會散發微;蚺艧崃看蠡蚺懦鲇卸、可燃氣體的設備,如半導體器件、集成電路生產中的擴散爐、外延爐、刻蝕機、離子注入設備、氣相沉積設備等,此類設備一般均設有局部排風設施,即第5.5.1條第3款所稱“防擴散措施”,有的設備還配帶有專用尾氣(排氣)處理設備,對所排出的高濃度有害氣體或有毒或可燃氣體進行處理后,才能經過潔凈廠房中設置的相關排氣系統排出。
    3 由于電子產品生產工藝的需要,某些設備必須跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時,應采取固定隔斷或潔凈空氣幕等可靠的密封隔斷措施。
    4 為保護潔凈室(區)內工作人員的身體健康,本規范第3.2.5條規定了潔凈室(區)內噪聲容許值,因此安裝在潔凈室(區)內的設備應選用符合要求的低噪聲設備,但由于電子產品生產過程或設備設計、運行條件的限制,所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應根據具體工程項目的實際條件采取相應的隔聲措施,如操作間隔聲、隔聲值班室、隔聲罩、隔聲屏等。
    5.5.5 本條的規定是對潔凈室(區)電子產品生產過程中,存放、傳送各種材料、中間產品或零部件使用的專用容器的設計、制作及其材料等的基本要求。由于電子產品種類繁多,它們在生產過程的存放、傳送條件和要求有較大差異,所以本條是推薦性條文。對于某些電子產品如集成電路的芯片生產用專用容器應遵循本條文的1~4款的規定,并且由于芯片的集成度的不同或運送的材料、中間產品的狀態不同,專用容器中充填的氮氣純度要求也會有所不同;而對另一些電子產品生產過程用專用容器,只需按其生產工藝特點遵循本條中的相關規定。
    5.5.6 本條為強制性條文,其編寫的依據是:
    1 電子工業潔凈廠房中常常設置有各種類型的真空泵,用于電子產品生產過程中的抽真空或用于排氣等,是生產工藝設備的輔助設備或就是生產工藝設備的一部分。各種類型的真空泵一般安裝在潔凈室(區)內的生產設備鄰近處或配套組裝在生產工藝設備上,有的則安裝在潔凈室(區)的輔助生產間或技術支持區內。
    為了確保潔凈室(區)的正常生產,避免安全事故的發生,應對設置在潔凈室(區)內的有油潤滑的真空泵、輸送含有可燃氣體的真空泵,傳輸易燃、自燃化學品或高濃度含氧氣體或氧化性化學品的真空泵等設置必須的安全技術措施,為此制定了本條的規定。
    2 參照美國消防協會(NFPA)標準NFPA 318《潔凈室消防標準》(Standard for the procection of cleanroom)第8.6.1條和第8.6.2條規定,在本條中作出了相關規定。

     

    6 潔凈建筑設計

    6.1 一般規定

    6.1.1、6.1.2 隨著科學技術的發展,電子產品生產發展很快,即使某一種電子產品也常常需要更新換代或生產工藝調整或生產規模的擴大,一些老的電子產品根據微型化、精密化、高可靠的要求將被淘汰,而代之以新的產品。電子產品生產工藝技術迅猛發展,以大規模集成電路的特征尺寸為例,已從微米發展到亞微米,現今正進入納米級集成電路的研制和逐漸投入批量生產;再以TFT-LCD生產發展狀況為例,近幾年來,我國雖然發展迅速,已建成第五代或籌建中的第五、六代生產線已有多個廠家,但在國際上已進入第七、八代生產線的建設。所以電子工業潔凈廠房的建筑平面和空間設計必須適應這種電子產品迅速發展和擴大生產需要的靈活性,這里所說的靈活性主要應理解為:
    1 要能滿足生產工藝改造和擴大生產規模的需要,實現在建筑面積不增加或少增加、建筑高度不改變的情況下,進行生產工藝和生產設備的調整。
    2 電子工業潔凈廠房的主體結構宜采用大空間、大跨度的柱網,以便適應產品生產工藝調整或生產規模的擴大或產品的升級換代等需要。
    3 電子工業潔凈廠房內不應采用內墻承重體系,避免因承重內墻的固定不變,妨礙生產工藝或設備的調整。為了強調電子工業潔凈廠房主體結構設計的特點,制定第6.1.2條的規定。
    6.1.4 據了解近年由于電子產品生產線設備、生產環境控制設施的價格高、建造昂貴,這兩部分的造價已占總造價的60%以上,有的甚至達90%以上,因此,潔凈廠房主體結構的耐久性等應與之適應,主體結構形式、構造、材質均應選用符合安全、可靠、耐火的要求。
    6.1.5 電子工業潔凈廠房的技術夾層、技術夾道的設置方式大體可分為:
    1 設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房。這種形式常常用于集成電路的芯片生產或TFT-LCD生產用潔凈廠房。潔凈生產層吊頂上部的技術夾層,一般用于凈化空調系統的送風靜壓箱,或安裝循環送風的空調機或FFU裝置和風管以及動力管線,層高一般約3m左右;潔凈生產層活動地板和多孔板以下的下技術夾層,一般用于設置公用動力設施及其管線,也是凈化空調系統的回風靜壓箱,層高一般約4m。這種形式的潔凈廠房,一般規模較大,產品生產工藝連續性強、自動化程度高,常常是全部或部分采用產品生產過程的自動化傳輸裝置,所以在進行建筑平面、空間布局和構造設計時,應與工藝設計、公用動力工程設計密切配合,充分滿足產品生產工藝需要、自動化傳輸要求和各種公用動力設施的安裝、維護要求,作出滿足需要、方便運行管理的建筑設計。這種設置型式,屬于垂直單向流或混合流潔凈室。
    2 設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房。這種型式可用于各類電子產品生產的潔凈廠房,在潔凈室(區)吊頂上部的技術夾層或潔凈室(區)一側或兩側的技術夾道,主要用于安裝空氣過濾器、燈具、風管和各種公用動力管線,所以它們的建筑設計包括高度或寬度的確定,應滿足空氣過濾器、燈具、風管和各種公用動力管線的安裝、維護要求。這種設置型式,屬于非單向流潔凈室。

    6.2 防火和疏散

    6.2.1 電子工業潔凈廠房具有如下主要特點:①在電子產品如電子材料、半導體器件、集成電路、液晶顯示器件等的生產過程中需使用易燃易爆的氣體、化學品等,它們對潔凈廠房構成潛在的火災威脅;②一些電子工業潔凈廠房的面積大、體積大,并且常常是平面布置、空間布置曲折,增加了疏散路線上的障礙,可能延長安全疏散的時間;③潔凈廠房內電子產品生產過程需應用各種類型的精密、貴重的設備、儀器,建設投資巨大,一旦失火,將會造成極大的損失。鑒于以上主要特點,為了保障財產、人身的安全,嚴格控制電子工業潔凈廠房建筑耐火等級是十分重要的,因此作了本條規定,并為強制性條文。
    6.2.2 本條規定.電子工業潔凈廠房內生產工作間的火災危險性,應按照現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016分類,并在附錄B中列出電子工業潔凈廠房生產工作間的火災危險性分類的舉例,F對附錄B中與現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073相關舉例不同或增加的內容說明如下
    1 電子工業潔凈廠房中,有使用丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學品的潔凈室,這些化學品的主要性質見表25。從表中數據可見丙酮、異丙醇等均為易燃化學品,應屬甲類,因此將電子工業潔凈廠房設有這些化學品的儲存間、分配間列為甲類。
    2 電子工業潔凈廠房中,尤其在半導體類潔凈廠房中常常使用H2、SiH4、AsH3、PH3等可燃、有毒氣體,從表22中所列這些氣體的主要性質可見,它們均為可燃氣體、有毒氣體,因此將電子工業潔凈廠房中設有可燃、有毒氣體的儲存、分配間列為甲類。
    3 半導體器件、集成電路工廠的外延間,由于其生產過程中需使用H2、S1H4等可燃氣體,因此在現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073附錄A中外延間列為甲類。但是近年來,隨著科學技術進步,半導體器件和集成電路生產所采用的外延設備的設計、制造技術有了很大的提高,各種氣體供應、控制系統、設備和附件設計、制造技術有了很大的提高,氣體報警設施的安全可靠性也有了長足進步和提高。據調查表明半導體器件和集成電路生產所采用的外延設備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等;半導體器件和集成電路生產用外延間的氫氣供應管路設有緊急切斷閥,一旦發生事故、火情時,自動切斷氫氣供應;外延間按建筑特點在可能積聚氫氣處設置氫氣報警裝置和事故排風連鎖控制裝置等安全技術措施。所以本次規范制定時,考慮到在具備上述安全技術措施的條件下,宜將半導體器件和集成電路生產等所使用的外延間列為丙類。
    6.2.3 從20世紀90年代末以來,我國建設了一批大規模集成電路芯片生產用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房,它們的潔凈室面積和防火分區面積均大大超過現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073、《建筑設計防火規范》GB 50016規定的面積。這些芯片制造、TFT-LCD制造為代表的高科技潔凈廠房具有大面積、大體量的特點,如表18所列的國內8″~12″芯片生產潔凈廠房潔凈區面積從6500m2~16000m2,第五、六代TFT-LCD生產用潔凈區已達36000m2,第八代TFT-LCD已達90000m2。這類潔凈廠房通常由潔凈生產區和潔凈生產區各自設有的上下技術夾層構成,廠房高度約為20~30m。由于芯片制造、TFT-LCD制造的生產工藝設備體量大,制造過程的連續性和自動化傳輸,所以生產工藝區是不能分隔的。為加強消防技術措施,在美國消防標準NFPA 318((潔凈室消防標準》中要求采用高靈敏(≤0.01%obs/m)早期空氣取樣式煙霧探測系統,在環境空氣中煙霧濃度很低的火情出現初期,探測系統即發出警報,相應消防應急系統即可啟動將火情消滅在初始階段;據了解,國內外的此類高科技潔凈廠房都這樣設計建造,投產最早的已有十年以上。
    鑒于上述情況,本條條文規定:“丙類生產的電子工業潔凈廠房的潔凈室(區),在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度小于等于0.01%obs/m的高靈敏度早期煙霧報警探測系統后,其每個防火分區的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。”這里對這類電子工業潔凈廠房的防火分區最大容許建筑面積所做規定的理由是:①電子產品生產工藝要求確實不可分時,即由于電子產品工藝的連續性或生產過程的自動化傳輸設備的需要,潔凈室確實不能按防火分區要求進行分隔的電子工廠潔凈廠房,②在潔凈廠房內凈化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器及其報警系統(Very Early Smoke Detection Apparayus,簡稱VESDA)或稱空氣采樣式煙霧探測系統(Air Sampling Type Smoke Detection System),這類探測系統是主動抽取環境中空氣,只要空氣中有煙霧,就能及時報警,并在火災形成前數小時,實現早期報警。本條規定的靈敏度是傳統探測器的數百倍,做到早期發現,將火源消滅在初始狀態;③在關鍵生產設備,主要是使用易引發火情的設備應設有火災報警和滅火裝置。據調研表明,在集成電路芯片工廠、TFT-LCD制造工廠等使用易燃、易爆化學品、氣體的生產設備都設有火災報警和滅火裝置,為本條規定的實施創造了有利條件。

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    6.2.4 據調查資料表明,表18所列的一些電子工業潔凈廠房都是垂直單向流潔凈室。此類潔凈室的潔凈生產區與下技術夾層是以多孔活動地板和多孔混凝土板(華夫板)分隔,下技術夾層是回風靜壓箱,并可能安裝生產輔助設施、各類管線等。多孔活動地板上開孔多少視回風量確定,其開孔率一般在30%~50%;而華夫板上的開孔率大于上述開孔率,每個孔洞的直徑一般是400mm左右。下技術夾層不設崗位操作人員,其高度為2.5~5.5m。上技術夾層是送風靜壓箱,它以基本布滿高效空氣過濾器或FFU和燈具的吊頂格柵與潔凈生產區相連。上技術夾層沒有崗位操作人員,其高度一般為2.5~5.5m。由于上述構造特點和使用特性,所以美國NFPA 318《潔凈室消防標準》中明確:“潔凈室包括活動地板下的空間和吊頂格柵以上作為空氣通道的空間”,“活動地板下方提供安裝機械、電訊或類似系統,或作為送風或回風靜壓箱作用的空間”。潔凈室的上下技術夾層的建筑面積可不計入防火分區的建筑面積。上下技術夾層和潔凈生產層,按其構造特點和用途,可作為同一防火分區。對于非單向流的技術夾層,一般均設在吊頂上部,其高度均小于2.0m,其潔凈生產層與吊頂上部的技術夾層均按同一防火分區進行設計、建造。所以本條作了相關的規定。

    6.2.5 電子工業潔凈廠房潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第5.2.4條、第5.2.6條的相關規定。

    6.2.6 本條依據現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第5.2.5條的規定。

    6.2.7 本條為潔凈廠房的安全出口設置的有關規定。第1款中規定依據現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第5.2.7條的規定。
    第2款安全疏散距離依據現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006的第3.7.4條中有關廠房內任一點到最近安全出口的距離不應大于表第3.7.4的規定。第2款中,還根據潔凈廠房平面布置要求和潔凈室的特點,規定了“安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志”等,以利于人員的疏散。
    第3款的規定是由于近年設計建造的微電子工廠潔凈廠房的大體量、大面積的實際情況,如表18中所列的5代、6代TFT—LCD液晶顯示器生產用潔凈廠房的潔凈生產區面積已達33000m2以上,建筑高度達26.5m,其廠房內任一點到最近安全出口的距離達80~120m。這類潔凈廠房內使用可燃、易燃氣體的關鍵設備均設有火災報警、氣體報警和C02滅火裝置;這類廠房如前所述均設有高靈敏度早期煙霧探測系統,且此類廠房由于生產工藝設備體積大、連續性生產、自動化傳輸等因素,致使要實現廠房內任一點到安全出口的距離符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的規定十分困難;此類廠房中操作人員較少,人員密度極低,且人員流動巡查。因此本款規定:“丙類生產的電子工業潔凈廠房,在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1.5倍。”在本款的“注”中對8代TFT-LCD生產用潔凈生產區的疏散距離,推薦在人員密度小于0.02人/m2時,可按工藝需要確定,但不得超過120m。

    6.2.8 由于電子工業潔凈廠房空間密閉,且設有人員凈化、物料凈化設施,一旦出現火情,消防人員進入潔凈室的路徑較困難,為此本條規定潔凈室(區)各層外墻應設供消防人員通往潔凈室(區)的入口。
    鑒于潔凈廠房外墻上樓層的吊門、電控自動門,一般都不能從外面開啟,因此不能作為消防人員進入廠房的入口;裝有柵欄的窗,由于柵欄的阻隔,影響消防人員迅速進入廠房,也不能作為消防人員的入口。

    6.2.9 制定本條的依據是:
    1 在電子工業潔凈廠房內不可避免地會設有現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006相關規定所容許的一定規模的有爆炸危險的甲乙類生產部位(區域、房間等),如高純氣體純化間、有可燃氣體的氣體入口室、特種氣體儲存分配間、可燃化學品儲存、分配間等。
    2 在現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006中明確規定,對有爆炸危險的甲乙類生產部位,宜設置在單層廠房外墻的泄壓設施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設施附近。

    6.3 室內裝修

    6.3.1 本條規定包括三方面的內容:
    1 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修用材料,不可避免地會在溫度和濕度變化時引起變形,為確保潔凈室(區)內的潔凈環境,減少微塵產生、積聚,應選用氣密性良好,且在溫度、濕度變化時變形小的材料。
    2 潔凈室(區)內,某些電子產品會因化學污染物在產品表面沉積影響產品質量或在后續生產過程中發生化學反應,造成次品以至廢品,所以在潔凈室(區)內,為防止化學污染,本條規定:“潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。”在進行潔凈室設計或建造選用裝飾材料時,應與具體項目的業主方或提供生產工藝方進行協調后確定。
    3 潔凈室內所選用的裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB 50222的規定。
    6.3.3 制定本條文的目的除了強調潔凈室樓地面設計應避免微粒的產生、積聚外,還規定了:
    1 潔凈室(區)地面應滿足電子產品生產工藝和設備安裝要求。如芯片生產用潔凈廠房,采用垂直單向流潔凈室時,一般采用回風活動地板;在潔凈室(區)不同部位因生產工藝和設備安裝的要求,尚需選用不同承載能力、規格型號各不相同的活動地板。
    2 為防止潔凈室(區)內地面施工后,在使用過程發生裂縫、裂紋等,容易產塵和微粒積聚,為此,潔凈室地面墊層推薦采用配筋方式。
    6.3.7 目前,國內電子產品生產潔凈室(區)內的墻板和頂棚基本上均采用輕質壁板構造,各地所采用的輕質壁板有多種形式,如夾芯彩鋼板、玻璃板、無機復合材料鋼塑板等。其中夾芯彩鋼板應用廣泛,其夾芯材料有多種材料和構造,如巖棉、紙蜂窩、鋁蜂窩、雙層石膏板、無機復合材料等。不論采用何種材質,除壁板本身質量至關重要外,輕質壁板構造、輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除板與板之間的雌雄槽緊密地組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合,使潔凈室形成一個完整的匣體。壁板之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機時從此進入室內,同時使潔凈室在正常工作時易于保持所需正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器本身或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要具有良好密封性能。目前國內使用的密封方法很多,如液槽密封、機械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便、操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝?傊,沒有經過高效過濾器過濾的空氣是不允許直接進入潔凈室。潔凈室頂棚輕質壁板應具有一定的承重能力,以便施工、運行維護時人員行走。


     

    7 空氣凈化和空調通風設計

    7.1 一般規定

    7.1.3 潔凈廠房中凈化空調系統的劃分原則,本條推薦6種情況宜采用“分開設置”。研究分析凈化空調系統“分開設置”的依據,大體可歸納為:電子產品生產工藝特點或要求,方便運行管理,減少能量消耗,防止交叉污染和由此帶來的影響產品質量或工作人員健康或影響運行安全等多項因素。本條中的第1、3、4款,主要是為方便運行管理、減少能量消耗作出的規定。第2款是為防止交叉污染,確保電子產品質量和保護工作人員健康以及安全運行作出的規定。第5款是為了方便運行管理、減少設備投資和方便安裝調試等作出的規定。第6款是為了方便運行管理、減少風管尺寸等因素作出的規定。
    7.1.5 潔凈室(區)內的新鮮空氣量,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第6.1.5條的規定。
    7.1.6、7.1.7 潔凈室(區)與周圍的空間必須保持一定的靜壓差,這是為了確保潔凈室(區)的正常工作狀態或空氣平衡暫時受到破壞時,空氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間或區域流向空氣潔凈度等級低的房間或區域,使潔凈室(區)內的空氣潔凈度不會受到污染空氣的干擾。
    由于電子產品生產工藝各不相同,因此各類潔凈室(區)所要求的空氣潔凈度不同;各個房間或區域散發的污染物種類、發塵量不同,所以各類潔凈室(區)之間的靜壓差只能隨產品生產工藝要求確定。
    靜壓差值的大小應選擇適當。若壓差值選擇過小,潔凈室的壓差很容易被破壞,潔凈室(區)的潔凈度就會受到影響。若壓差值選擇過大,就會使凈化空調系統的新風量增大,空調負荷增加,同時使中效、高效過濾器使用壽命縮短,故很不經濟。另外,當室內靜壓差值高于50Pa時,門的開關就會受到影響。
    國際上現行的潔凈室標準中都明確地規定,為了保持潔凈室(區)的空氣潔凈度等級免受外界的干擾,對于不同等級的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級別的房間之間都必須維持一定的靜壓差。雖然各個國家規定的最小壓差值不盡相同,但最小壓差值都在5Pa以上。
    試驗研究的結果表明,潔凈室內正壓值受室外風速的影響,室內正壓值要高于室外風速產生的風壓力。當室外風速大于3m/s時,產生的風壓力接近5Pa;若潔凈室內正壓值等于或小于5Pa時,室外的污染空氣就有可能滲漏到室內。因此,潔凈室與室外相鄰時其最小的靜壓差值應該大于5Pa,所以規定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。
    7.1.8 潔凈室(區)的送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖、控制要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第6.2 4條的規定。

    7.2 氣流流型和送風量

    7.2.1 氣流流型的確定應充分考慮的因素有:滿足空氣潔凈度等級要求、一次建設投資、運行維護費、空氣過濾器等更換方便等。
    本條推薦的潔凈室(區)內氣流流型的設計要求,是基于數十年電子工廠潔凈廠房工作實踐的經驗總結,并結合國際標準化組織ISO/TC 209技術委員會已經頒布、實施的《潔凈室及相關受控環境標準》IS0 14644—1、IS0 14644-4中有關氣流流型的要求和近年來國內建成投產的電子工業潔凈廠房所采用的氣流流型的實際狀況制定的。圖4是IS0 14644-4中對潔凈室氣流流型的圖示。表19是一些電子工業潔凈廠房的氣流流型。上述情況表明:空氣潔凈度等級為1~5級時,基本上采用單向流或混合流,空氣潔凈度等級為6~9級時,基本上采用非單向流,且混合流流型可應用于所有各種空氣潔凈度等級的潔凈室。

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    7.2.2 潔凈室的送風量是保證空氣潔凈度等級的送風量,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第6.3.2的規定。

    7.2.3 制定本條的依據是:
    1 表20是根據國際標準化組織ISO/TC 209技術委員會編寫、發布的《潔凈室及相關受控環境標準》ISO 14644—4《潔凈室的設計、建造和試運行》中的表B.2微電子潔凈室的實例,列出了空氣潔凈度等級為2~8級的氣流流型、潔凈送風量的數據。

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    注:在制定最佳設計條件前,應該詳細規定并商定與ISO等級有關的占用狀況。
    表列的氣流形式表示該等級潔凈室的氣流特性U為單向流,N為非單向流,M為混合氣流(U和N組合)。平均氣流速度是通常規定潔凈室內單向流的方法。對單向流速度的要求取決于局部的參數,如幾何圖形和熱參數。不一定是過濾器的面速度。每小時換氣次數是規定非單向流和混合氣流的方法。建議的換氣次數是指3.0m的室高度。應考慮不透水的屏障技術。污染源和待保護的區域要有效地分隔開,可以用物理或氣流屏障。
    2 近年來,一些8″、12″集成電路芯片生產用潔凈廠房中主要生產設備配置微環境裝置時,潔凈室采用Ballroom+微環境時,其潔凈廠房內潔凈區的空氣潔凈度等級為5級或6級,氣流流型為非單向流,潔凈生產區送風一般選用FFU,吊頂上FFU的滿布率為25%左右;微環境內的空氣潔凈度等級為2~4級。
    3 單向流潔凈室的平均風速下限值,在自動化、機械化程度很高的潔凈室(區)內基本無人的情況下,有的潔凈室(區)僅采用0.11m/s。

    7.3 凈化空調系統

    7.3.1 電子工業潔凈廠房中的凈化空調系統的主要形式為集中式和分散式,圖5是幾種分散式凈化空調系統的典型圖示。從圖中可見,各種形式各具特點和適用性,在實際應用中,應根據具體工程項目的潔凈室規模、空氣潔凈度等級和電子產品生產工藝特點及其要求確定,同時考慮運行經濟和降低能量消耗。

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    7.3.2 電子工業潔凈廠房,尤其在規模較大的集成電路芯片生產和TFT-LCD生產用潔凈廠房的送風方式有集中送風、隧道送風和風機過濾機組送風等類型,各種送風方式各具特點和適用性,圖6是各種送風方式的示意圖。圖6中:(a)集中送風系統(CentralSystem),室外新風經新風處理裝置(MAU)后,與經表冷器降溫和風機增壓后的回風混合,通過高效過濾器送至潔凈生產層。(b)隧道送風系統(Tunnel System),潔凈區的回風經維修區與新風處理(MAU)后的新風混合后,由循環空氣處理裝置送入送風靜壓箱,通過空氣過濾器送入潔凈區。(c)FFU系統,潔凈區回風經表冷器降溫后與處理后新風混合,通過FFU增壓、過濾送入潔凈區。三個系統各有利弊,其選擇主要與電子產品生產工藝、能量消耗、建設投資等有關,有時也與業主的意愿有關,但近年來在集成電路潔凈廠房中,采用FFU系統者日益增多。

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    7.3.3 在一些電子產品生產過程中,需使用各種不同的可燃、有毒氣體或化學品,使用這些物質的生產設備或儲存、分配設施都將設置必要的排風裝置,為此,在這類電子產品生產用潔凈廠房的凈化空調系統的新鮮空氣吸入口,必須遠離上述排氣口,以確保潔凈室(區)的安全運行和工作人員身體健康。
    美國消防協會發布的NFPA318((潔凈室消防標準》的第3.1.1條規定,潔凈室的室外空氣吸入口的位置必須避免吸入本建筑或裝置產生的可燃氣體或有毒化學品。

    7.3.4 近年在電子工業潔凈廠房中,當設有多套凈化空調系統或潔凈廠房規模較大時,常常采用新風集中處理的方式,采用這種方式的特點或優越性主要有:
    1 將送入潔凈室的空氣凈化與熱濕處理分離,有利于降低能源消耗;
    2 有利于消除冷熱抵消;
    3 有利于強化對室外新風的處理,在微電子、光電子用潔凈室的送風中,不僅要求控制微粒、溫度、相對濕度等,還要求去除影響產品質量或降低成品率的分子態化學污染物,如Na、SOx、NOx、Cl、B等,這些污染物主要來自室外大氣中。為此,對于此類潔凈廠房需對室外吸入新鮮空氣進行嚴格處理,常?梢圆捎昧芩ㄈコ髿庵械腟Ox、NOx和Cl;采用化學過濾器和活性炭過濾器,利用物理吸附和化學吸附的原理,將低濃度的分子態化學污染物去除到規定的濃度要求。圖7是某微電子工業潔凈廠房的新風處理裝置示意圖,采用了11個功能段——兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕。

    7.3.5 潔凈廠房凈化空調系統的設計,若能在滿足工作人員必須的新鮮空氣量的前提下將潔凈室的回風基本得到合理利用,是最佳的運行方式,這樣可以大大降低新風處理所需加熱、冷卻用能量和輸送用能量,是潔凈室設計中最佳節能措施。所以本條規定除了三種情況不得回風外,其余均應合理利用回風。

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    7.4 空氣凈化設備

    7.4.1 電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的核心設備之一的空氣過濾器的正確選用和合理布置,是至關重要的。首先,應遵循我國的相關國家標準、行業標準合理選用空氣過濾器,包括空氣過濾器的處理風量、效率、阻力、材質和檢測方法(含檢漏方法)等。其次,根據具體工程項目的產品生產要求和凈化空調系統設計,合理安排各類空氣過濾器的位置,在空調箱中,中效(高中效)空氣過濾器常安裝在正壓段,但近年來為了保持表冷器表面清潔,減少塵粒沉積,已有許多設計中在風機前安裝中效空氣過濾器,圖7便是一例。鑒于目前我國的相關標準中還沒有去除化學污染物的空氣過濾器或其他去除裝置的標準,只能參照相關國際標準進行選用和布置。
    7.4.2 風機過濾機組(FFU)是將風機與高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)組合在一起,構成自身可提供推動力的末端空氣凈化裝置。它由風機、過濾器、機殼和電器控制等部分組成。FFU的主要技術性能包括風量(一般以斷面風速表示)、余壓、能耗、效率、噪聲和控制方式等。目前國內電子工業潔凈室應用FFU越來越多,不僅在大面積、空氣潔凈度要求嚴格的單向流或混合流潔凈室(區)采用,而且在各種用途的、面積不是很大的單向流或混合流潔凈室(區)中也有應用。目前在應用中受到各方面關注的主要是FFU裝置的經濟性(投資、運行費)、風量和余壓、噪聲、能耗等性能參數,表21是對國內市場的幾個制造廠家生產的FFU裝置的實測性能參數。

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    從表21中數據可見,4種同樣風速、風量下的FFU裝置,余壓、能耗相差較大;單臺噪聲均在60dB(A)以下,但是數十臺、數百臺甚至上千臺FFU裝置安裝后的疊加噪聲將是不同的。據初步估算,為了達到本規范規定的單向流、混合流潔凈室噪聲不超過65dB(A)(空態)的要求,FFU在斷面風速為0.45m/s的條件下,其余壓大于100Pa時,單臺FFU裝置的噪聲應為50dB(A)左右。
    基于上述情況,本條對電子工業潔凈廠房中FFU裝置的設置,提出了5款基本要求。

    7.4.5 干表冷器是以中溫水為冷媒的空氣換熱設備,其功能只要求空氣降溫,不需去濕,即無凝結水析出。在與FFU聯合使用時,干表冷器設置在FFU回風的通道上,其冷媒的進水溫度應計算確定;通過的風速不宜過高,一般應小于2m/s,干表冷器的風阻力不應太大,應在30~40Pa左右。在正常運行時雖無凝結水析出,但是為了安全,最好還應設置滴水盤或其他排水措施。

    7.4.6 空氣處理機組是電子工業潔凈廠房凈化空調系統的關鍵設備,它與舒適性空調系統中的空氣處理機組相比,首先應做到氣密性好,既應減少系統中的空氣往外泄漏,使能量消耗增加,又要防止“機組”周圍相對臟的空氣滲入“機組”,增大各級過濾器的負荷,所以本條規定機組的漏風率不得大于1%。第二,為了做到空氣處理機組在運行維護中,不易滲漏、散發微粒和便于擦拭、清潔,不僅整體結構應耐壓具有足夠強度和剛度,而且內表面應乎整、光滑,并應具有較好的保溫和防冷橋的性能。第三,潔凈室設計經驗表明,潔凈廠房能量消耗大,其中凈化空調系統及其冷熱源設備又是能量消耗大戶。送風量大是能量消耗大的主要源頭,降低送風量有多項技術措施,在凈化空調系統已經確定送風量的情況下,隨著電子產品生產過程中生產工藝設備開啟數量和負荷率的變化,室內外溫濕度的變化等因素的變化,都可能需要調節送風量,另外,凈化空調系統中的初、中、高效過濾器的阻力是不斷變化的,為此送風機采取變頻變速措施,可調節風機轉數,調節送風量,減少電能消耗,是潔凈廠房的重要節能措施之一。但是送風機的變頻變速措施的設置,一定要結合具體工程項目的實際情況,合理進行選擇。

    7.5 采暖、通風

    7.5.1 為使潔凈室(區)內嚴格做到不產生或少產生塵粒、不滯留或少滯留塵粒,若潔凈室(1X)需設置采暖設施時,不應采用散熱器采暖。據調查了解,目前電子產品生產用潔凈室(區)內大多不采用散熱器采暖,為此本條作了嚴格規定,并為強制性條文。
    7.5.2 為確保局部排風系統的安全、穩定運行,電子工業潔凈廠房內局部排風系統單獨設置的要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第6.5.3條規定。
    7.5.3 一些電子工業潔凈廠房內使用各類品種、一定數量的可燃、易爆和有毒物質,其中以集成電路芯片制造工廠為最多,為確保電子產品生產的安全、可靠運行,通常在使用這些物質的生產設備均設有局部排風系統。在芯片制造用潔凈廠房中的可燃、有毒或有害物質主要有:酸堿類:HF、HCl、H2SO4、HN03、NH3等;有機類:IPA(異丙醇)、CHCl3、NBA、HMDS、丙酮等;特種氣體:AsH3、SiH4、PH3、B2H6、HCl、NF3、WF6、SiHCl3、CF4、SF6、N20等。這些物質大部分對人類生存環境具有巨大的危害性,為此,電子工業潔凈廠房設計中必須采取必要的技術措施,將危害性減少到最;同時,還應采取技術措施,防止這些物質的排氣系統對所在廠房的安全、衛生造成威脅或危害。本條的各項要求以此為出發點作出相應的規定,F對一些規定說明如下:
    1 排氣系統中,含有水蒸氣或凝結物質時,若不能排除系統中的凝結液,將使排氣系統不能正常運行或造成安全事故或影響潔凈室(區)的空氣潔凈度,為此本條規定:此類排風系統應設坡度及排放口,以便及時排出凝結物質。
    2 排氣介質中含有劇毒物質時,該排風系統在運行過程中是不能停止運轉的,一旦停機,將對潔凈室工作人員和潔凈廠房周圍環境帶來致命的或巨大的危害,為此本條規定:此類排風系統的排風機和處理設備應設備用,并設置應急電源。
    排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時,為確保安全運行,排風系統也不能停止運轉,為此本條規定:此類系統的排風機應設備用,并應設應急電源。
    3 現將美國消防協會(NFPA)的NFPA 318《潔凈室消防標準》中的相關條文摘錄如下,供參考:第3.5.1條,排風系統必須設有自動應急電源。第3.5.2條,應急電源工作時,必須達到不低于排氣系統50%的容量。第8 8節,使用可燃或易燃化學品的設備,必須具有可燃或易燃氣體或蒸氣濃度降低至爆炸下限20%以下的排氣系統。
    7.5.4 為了避免含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路向沿程或路由區域泄漏,形成安全事故的發生,本條規定:此類排氣管路內壓力應低于路由區域內的壓力,即保持一定的負壓值。
    美國消防協會的NFPA 318《潔凈室消防標準》中第3.2.3條規定:含有有毒化學物質的排氣系統壓力,必須低于通過建筑區域的正常壓力。
    7.5.6 制定本條的主要依據有:
    1 按現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB50019—2003中第5.4.3條制定本條第1款規定。
    2 根據現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB50019—2003中第5.4.6條規定本條第2款明確規定在潔凈室(區)和潔凈室(區)外設手動控制開關;為運行安全和管理要求,并規定應設自動控制開關。
    3 參照美國消防標準NFPA 318《潔凈室消防標準》中第3.5.1條“排氣通風系統應設置應急電源”。為確保事故排風系統及時投入運行,不會因停電無法運行而誘發事故的發生,制定本條第3款的規定。

    7.6 排 煙

    7.6.1 電子工業潔凈廠房中,不論在上技術夾層或下技術夾層或技術夾道中各種管線均較多,如果再安排機械排煙管道較困難,為了確保潔凈廠房安全和一旦出現火情后,有能力及時疏散生產廠房中的工作人員,所以本條規定潔凈廠房的疏散走廊,應設置機械排煙設施。本條是強制性條文,所有電子工業潔凈廠房設計、建造時均應認真執行。
    這里需要說明的是:本條的規定并不是說所有電子工業潔凈廠房都僅僅在疏散走廊設置機械排煙設施,如果一個具體工程項目,在潔凈廠房的技術夾層等的管線布置安排中確有可能布置機械排煙管道,并且工程項目的業主希望潔凈廠房設置機械排煙設施時,工程設計單位應密切配合,妥善進行各種管線的安排,做好機械排煙系統的設計。
    7.6.2 本條規定了電子工業潔凈廠房應按照現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的要求設置排煙設施。但由于以集成電路、光電器件生產為代表的高新科技潔凈室(區)具有大體量、大面積、人員密度小以及廠房構造、關鍵工藝生產設備設有安全設施等特點,且此類潔凈廠房內各種公用動力、凈化空調、高純物質供應設施、管線較多,布置復雜,使機械排煙管線的布置比較困難,為此本條又規定:“當同一防火分區的丙類潔凈室(區)內人員密度小于0.02人/m2,且安全疏散距離小于80m時,潔凈室(區)可不設置機械排煙設施。”
    7.6.3 機械排煙系統設計(風量、排煙口位置、風機等的選擇)應滿足現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2001中第9.4.4條等的有關規定。

    7.7 風管、附件

    7.7.2 鑒于含有易燃、有毒氣體或化學品的排風管道在出現火情后,為確保人員的安全疏散,應首先將系統、設備和管道中的有害氣體排出,達到安全規定后,才能關斷,所以本條規定“不得設置熔片式防火閥”。
    7.7.3 電子工業潔凈廠房中的凈化空調系統的風管和調節閥、高效空氣過濾器的保護網、孔板等附件的制作材料和涂料的選擇,不僅應根據輸送空氣的潔凈度要求確定,還應充分考慮這些材料的應用,是否會釋放對電子產品有影響的物質,比如集成電路芯片生產中,如果凈化空氣中含有Na、B等物質時,將會使產品質量降低或成品率降低,嚴重時不能制造出所需要的成品,為此本條規定“不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料”。
    7.7.4 由于潔凈室(區)內排風系統有多種類型,各個排風系統含有各類化學物質,因此選用排風系統的風管、閥門、附件的制作材料和涂料時,應認真分析、對比所選材質與所在排風系統內物質的物化性質及其所處的環境參數,以不得發生化學反應和引起安全事故為前提選用合適的材質。
    7.7.7 制定本條的主要依據是:
    1 根據現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB50019—2003中第5.8.10條和第7.9.3條第4款的規定。
    2 美國消防標準NFPA 318《潔凈室消防標準》中第3 3.5條規定:“排風管道應采用不燃材料制造”。
    鑒于上述規定和電子工業潔凈廠房的特點,作了本條規定,且第2款、第3款為強制性條文。

    8 給水排水設計

    8.1 一般規定

    8.1.1 潔凈廠房內的管道敷設方式會對潔凈室的空氣潔凈度產生影響,成排布置的給水排水管道有時會對潔凈室的氣流流型產生影響。為此,本條要求盡量將各種給水排水管道布置在潔凈室(區)外,使布置在潔凈室內的管道最大限度地減少。潔凈廠房經常采用下列管道布置方式:
    1 設有上下技術夾層或技術夾道的潔凈室,除潔凈室內的消防水干管位于上技術夾層外,其余給水排水干管一般都位于潔凈室的下技術夾層。
    2 各種立管一般布置在技術豎井或技術夾道或墻板、管槽內。
    8.1.2 潔凈室(區)空氣的溫度、濕度和壓力等都受到控制,基本屆于恒溫恒濕狀態。制定本條的目的就是要確保穿過潔凈室的給水排水管道不因其結露而影響潔凈室的溫度、濕度或潔凈度。另外,如果穿過潔凈室(區)的給水排水管道其表面溫度若高于潔凈室(區)的環境溫度時,則應對該管道進行隔熱保溫。保溫材料選擇時,應確保施工和維護時保溫材料脫落的粉塵對潔凈室的影響最;保溫層外表面要求平整、光滑,是為了盡可減少保溫層表面積灰并便于清理,宜采用鍍鋅鐵皮等做外殼。
    8.1.3 穿過潔凈室(區)的管道,其穿管處的密封是保證潔凈室空氣參數的重要一環。密封不好或不進行密封,一方面會導致潔凈室的正壓風大量泄漏,造成能量浪費;另一方面,非潔凈室(區)的塵粒也會順管道縫隙進入潔凈室,從而破壞潔凈室的潔凈環境。實踐表明,采用套管方式是行之有效的。對無法設置套管的部位,應采用微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈及環氧樹脂冷膠等進行密封。

    8.2 給 水

    8.2.1 電子工業潔凈廠房內的生產工藝一般為精細或超精細加工,對水質、水溫、水壓等的要求都較為嚴格,水質、水溫、水壓等的變化可能會導致次品或工藝設備故障,因此,應根據不同的工藝要求設置獨立給水系統。常見的系統有:純水或超純水系統;工藝循環冷卻水系統;一般工業給水系統,熱(溫)純水系統等。對上述給水系統的補充水可從潔凈廠房中的生活給水系統供給。
    8.2.2 電子工業半導體、液晶顯示器等電子產品生產工藝中往往會使用大量的危險化學品,為此,在廠房(車間)設有危險化學品儲存和分配系統,考慮到操作和維護人員的安全,應在這些地方設置緊急淋浴器和洗眼器。環行設置緊急淋浴器和洗眼器的供水管路,是為了提高供水的可靠性,確保在任何時刻都有水供應。
    8.2.3 本條是為了確保電子產品生產工藝用水的水質、水壓、水溫作出的相應規定。
    1 給水系統管材選用。首先,要保證該管材不會使所輸送的水水質發生變化,即要求該管材具有良好的耐腐蝕性和良好的抗溶出性。其次,要確保該管材的允許工作壓力大于系統的工作壓力。
    2 由于半導體制造、液晶顯示器生產等電子工業潔凈廠房往往有較嚴格的微振控制要求,所以這類廠房的首層底板經常加厚,有時達到600~800mm。埋設在這些底板下的給水管道,維修和更換是較困難的,因此,埋地給水管一方面要按水的性質確定管內壁的耐腐蝕性,另一方面要按地下水及土壤的條件確定管外壁的耐腐蝕性。需要注意的是,鍍鋅層是防銹層而不是防腐層,所以埋地鍍鋅管必須做防腐處理。在進行潔凈室的給水排水設計時,應盡量避免埋地管道。
    3 電子工業生產設備的冷卻水,一般對電導率、TOC、pH值等提出要求,為確保生產設備循環冷卻水的水質,給水管和回水管采用不銹鋼管、鋼塑管和塑料管是合適的;焊接鋼管由于其耐腐蝕性差,容易產生銹蝕,故不宜使用在對電導率、TOC、pH值等有要求的場合。
    4 閥門及配件要求與管材一致,主要是為了保證供水水質。

    8.3 排 水

    8.3.1 電子產品生產過程排出的生產廢水因產品品種、生產工藝的不同而異,僅以半導體器件、集成電路等電子產品為例,在此類產品生產過程中排出的生產廢水就有酸性廢水(HF、HCl、HN03、H2SO4等)、堿性廢水(NaOH、NH4OH等)、研磨廢水(硅粉粒等)、廢氣洗滌廢水、有機廢水(IPA、顯影液、光阻液等)等,它們的排放濃度在生產過程的各個工序也有所不同,但在電子工廠中通常都根據排出的生產廢水的品種、性質、污染物濃度等設置廢水處理站或廢水處理裝置進行處理,并達到國家排放標準或地方排放標準后排放。據調查了解,由于上述電子工廠生產廢水的排放特點,目前在工程設計和實際生產實踐中均采用生產廢水系統、生活廢水系統分別設置的方式。因此作出本條規定,并為強制性條文。
    8.3.2 本條是電子工業潔凈廠房給水排水設計安全衛生和維持潔凈室(區)空氣潔凈度等級等技術指標的重要保證,必須嚴格執行。
    對潔凈室而言,當潔凈室正常工作時,水封裝置的主要作用是防止潔凈室內的正壓風通過重力排水管向外泄漏,而潔凈室內的正壓風向外泄漏會引起能量損失和破壞潔凈環境;當潔凈室非正常工作時,它可以防止管道內的有害氣體或室外氣進入室內,破壞潔凈環境。
    一般情況下,潔凈室與室外的靜壓差為10Pa,考慮水封裝置內水的蒸發損失、自虹吸損失及管道內氣壓變化等因素,水封深度應為50~100mm水柱并不小于50mm,這與《建筑給水排水設計規范》GB 50015關于水封的設置要求是一致的。
    通氣系統的作用:①排除排水管道中的有害氣體;②平衡管道內的壓力,保護水封裝置內的水封。通氣管的設置位置和高度要確保不對周圍環境產生影響,必要時應考慮處理措施。
    8.3.3 潔凈室(區)內地漏等排水設施的設置應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073—2001中第7.3.3條的規定。
    8.3.4 本條是為了從各個方面采取相應措施確保潔凈室的潔凈度制定的。一般潔凈室內的衛生器具應采用白陶瓷或不銹鋼制品,不得采用水磨石或水泥等易起塵的制品。衛生器具配件應采用鍍鉻或工程塑料等表面光滑、易于清洗的產品。

    8.4 雨 水

    8.4.1 為了減少屋面雨水聚積,減少屋面荷載并降低屋面漏水的可能性,屋面不得積水,為此制定本條規定。
    8.4.2 作出本條規定,一是由于潔凈廠房設備貴重,生產工藝對環境的要求嚴格,二是根據國內已經建成的一些電子工業潔凈廠房屋面雨水排水重現期的工程實踐。
    8.4.4 本條規定主要是為了防止因雨水斗密封不好或雨水懸吊管漏水而影響潔凈室(區)的潔凈環境。

    8.5 消防給水和滅火設備

    8.5.1、8.5.2 本條明確規定電子工業潔凈廠房必須設置消防給水系統。消防水量及系統設置除需要滿足《建筑設計防火規范》GB 50016外,還應符合本規范第8.5.2條的規定。
    8.5.3 目前在我國的電子工業潔凈廠房設計、建造中,潔凈室(區)的消防設施有的設置了自動噴水滅火系統,也有的沒有設置自動噴水滅火系統;在電子工業潔凈廠房中,在儲存、分配或使用易燃、易爆氣體、化學品的部位設有氣體滅火系統。滅火實踐說明:固定滅火設施——自動噴水滅火系統或氣體滅火系統均為有效的滅火設施,它能及時、有效地撲滅火情。所以,為了確保潔凈室(區)的安全運行,一旦出現火情時,減少經濟損失,及時進行撲救,推薦在電子工業潔凈廠房設計時,采用固定滅火設施——自動噴水滅火系統或氣體滅火系統等。為此本條規定潔凈廠房的潔凈室(區)應設固定滅火設施。根據我國經濟發展水平和近年電子工業潔凈廠房消防設計的實踐,并參照美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關規定,作出本條規定。
    1 無特殊要求的潔凈室(區)設置的自動噴水滅火系統,可考慮濕式系統,這與NFPA 318及國外有關潔凈室自動噴水滅火系統的選擇是一致的。關于噴水強度和作用面積:我國近年建成的部分電子工業潔凈廠房其噴水強度均按8L/min·m2進行設計,作用面積有的為160m2,有的為280m2;美國消防標準NFPA 318規定潔凈室自動噴水滅火系統的噴水強度為8L/min·m2,作用面積為280m2;結合我國現行國家標準《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084中的規定,本條規定自動噴水滅火系統噴水強度為8L/min·m2,作用面積為160m2。
    2 據了解,目前在電子工業潔凈廠房中,所有存放可燃類特種氣體鋼瓶的特氣柜中均設有自動噴水噴頭;美國消防標準NFPA 318中第2.1.2.3條規定:“存放有可燃氣體鋼瓶的貯柜中必須安裝自動滅火噴水噴頭。”
    8.5.4 滅火器是撲滅初期火災的最有效手段。據統計,60%~80%的初期火災,是在消防隊到達之前靠滅火器撲滅的。因此規定潔凈廠房要按現行國家標準《建筑滅火器配置設計規范》GB 50140設置滅火器。應注意的是,潔凈室采用的滅火器不應因誤噴而破壞潔凈環境,也就是說避免使用各種類型的干粉滅火器同時應避免使用蛋白泡沫滅火器(該滅火器噴完后會散發出臭味)。目前大多采用C02滅火器。

    9 純水供應

    9.1 一般規定

    9.1.1 電子工業潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一。各種電子產品生產工藝對純水水質、水量要求均不相同,在中國電子級水的技術指標中,僅電阻率一項指標——EW-1級水為18MΩ·cm以上,而EW-4級水只為0.5MΩ·cm,相差36倍。在美國試驗與材料協會(ASTM)D5127《電子及半導體工業用純水水質要求》中E-1級、E-4級的電阻率指標也是這樣,并且對各等級純水中離子濃度要求相差更大,如Na離子,E-1級為0.05μg/L,E-1.2級為0.005μg/L、E-3級為5μg/L、E-4級為1000μg/L;E-1級與E-4級相差20000倍。各種電子產品生產用水量的差異也是很大的,一些電子產品組裝廠或電子元件工廠的純水用量在5t/h以下,而TFT-LCD潔凈廠房的純水用量達500~1000t/h。
    純水系統的原水水質因各地區、城市的水源不同相差很大,有的城市以河水為水源,即使是河水,其河水的源頭和沿途流經地區的地質、地貌不同,水質也是不同的;有的城市以井水為水源,井的深度不同、地域不同、地質構造不同均會千差萬別,現在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等,有的城市各個區、段供水水質也不相同。所以純水系統的選擇,應根據原水水質的不同,差異很大,是否選擇原水預處理,預處理設備的種類、規模都與原水水質有關。因此,電子工業潔凈廠房的純水系統的選擇應根據原水水質和電子產品生產工藝對水質的要求,結合純水系統的產水量以及當時、當地的純水設備、材料供應等情況,綜合進行技術經濟比較確定。首先是技術上的可行、供水水質的可靠,在此前提下,選用建設投資較少、運行費用低或建設投資回收年限較短的技術方案。
    9.1.4 電子工業潔凈廠房的潔凈室(區)內,一般不可避免地將會布置有純水支管或接至產品生產設備的純水管道,為了減少污染物的擴散、發生、積聚和易于清潔,純水管道的保溫材料選擇時,應選用不產生污染物的材料,如橡塑保溫材料等,其外表面應平整、光滑,宜外包保護層。

    9.2 純水系統

    9.2.2 純水的制備、儲存和輸送設備的選型和制造材質的選擇,除了應充分滿足電子產品生產工藝對供水水質、終端水質的要求外,純水的制備、儲存和輸送設備的選型和材質選擇,還應充分考慮下列因素:
    1 純水是一種極好的溶劑,為了確保在純水的制備、儲存和輸送過程中純水水質下降最小,必須選擇化學穩定性極好的材料,這些材料在所處的純水中的溶出物最小。各類材料的溶出物多少應以材料的溶出試驗確定,主要包括金屬離子、有機物的溶出。
    2 設備內壁光潔度好,若內壁有微小的凹凸,會造成微粒的沉積和微生物的繁殖,導致微粒和細菌兩項指標的不合格。不銹鋼內壁光潔度可達幾微米至幾十微米,內襯PVDF的內壁光潔度可達1μm以下。
    3 設備內壁以及接管處應平整、光滑,以防止產生流水的渦流區,避免污染物積聚。
    4 設備內不應有“死水區”、“存水彎”等可能形成不流動水的“死角”、“盲點”等,防止水質降低,避免微生物的滋生。
    5 純水的儲罐等設備的上部空間,為防止發生滲氣現象等,應充以純氮保護。
    6 應設有檢查口、清洗口,以便對設備進行定期檢查、清洗,防止長期運行后,內壁產生沉積物及微生物積聚使水質下降。為此,本條作了純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合規定的三款要求。
    9.2.3 電子工業潔凈廠房的純水系統設計和運行經驗表明,采用純水循環供水方式是確保純水水質的安全、方便和可靠的方法,也是目前各類電子工業潔凈廠房純水系統的實際設置狀況,圖8是單管式循環供水系統和有獨立回水管的雙管式循環供水系統。在集成電路芯片生產等對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝用純水供水系統,目前均采用雙管式循環供水系統。

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    為了確保電子產品生產所需純水水質,本條作了七款詳細的規定,并且有三款是電子工業潔凈廠房中設有純水系統時,其純水系統的設計、建造時需強制執行的規定。

    9.3 管材、閥門和附件

    純水系統管道及其閥門和附件的材質的選擇,與前面所述的與純水接觸的設備和純水儲存、輸送設備的要求類似,所以本節要求材料的化學穩定性應好、管道內壁光潔度應好、不得有滲氣現象等。目前,電子工業潔凈廠房中純水系統管道的材質,根據所需純水水質的不同,一般分別采用低碳優質不銹鋼、聚氯乙烯(UPVC、CL-PVC)、聚偏二氟乙烯(PVDF、PVDF-HP)等類型的管材。據了解,在集成電路芯片生產用純水系統中,一般在反滲透裝置(RO)前的管道材質采用C-PVC;而RO裝置之后的純水管道材質一般采用PVDF-HP,循環供水系統的回水管路材質一般采用PVDF。
    對于純水系統的閥門、附件的選用,其材質應選擇與管道相同的材質。為防止閥門可能發生滲氣現象,影響純水的水質,所以應選用密封好、結構合理的閥門。根據電子工業潔凈廠房的實際情況,在集成電路芯片生產等對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝用純水系統中,一般采用隔膜閥。

    10 氣體供應

    10.1 一般規定

    10.1.1 潔凈廠房使用的氣體有常用氣體、干燥壓縮空氣及特種氣體三大類,根據各種電子產品品種及其生產工藝的不同,使用氣體的品種、純度及雜質含量是不相同的。表22是幾類電子產品所需氣體品種。

     

    10.1.3 潔凈廠房所使用氣體的制備、純化、儲存及分配系統,除應遵守本規范外,還應遵守相關現行國家標準的規定,其中主要有;《建筑設計防火規范》GB 50016、《壓縮空氣站設計規范》GB 50029、《氫氣站設計規范》GB 50177、《氧氣站設計規范》GB 50030、《工業金屬管道設計規范》GB 50316等。

    10.1.4~10.1.6 目前,各類電子工業潔凈廠房中,常用氣體管道的一次配管,均敷設在與用氣設備相關潔凈室(區)毗鄰的技術夾層或技術夾道內。除壓縮空氣管道外,其他各類氣體管道不得穿過與其無關的房間或不使用這些氣體的房間,有時為布置的方便或可減少大量的管材,必須穿越時應設套管或雙層管,以免運行中這些氣體泄漏。由于此類無關房間未采取通風、報警措施,易引起事故。特種氣體管道由于管徑較小,一般均采用相對集中敷設。潔凈室(區)內的惰性及無危害性氣體管道及其管架宜暗敷或設置在便于檢查、維護的裝飾面板內,可燃、有毒或有害氣體管道應外露敷設。
    可燃氣體、有毒氣體穿過潔凈室(區)墻或樓板處管道應設套管,該套管內的氣體管道不得有焊縫,以避免因焊縫質量問題,泄漏氣體后無法檢查,形成逐漸積聚,成為安全事故的隱患。

    10.1.7 電子工業潔凈廠房中,由于高純氣體管道內輸送的氣體中雜質含量都極低,一般氧含量都在10-6~10-10,水含量在10-5~10-9,而潔凈室生產環境中的氧濃度、水汽含量均在10-1以上,即高純氣體輸送管內外的氧氣、水分的分壓差達105~1010,分壓差極大。根據國內外許多研究試驗和實際運行都表明:高純氣體輸送過程中存在著被生產環境中的氣體或水分所污染的巨大潛在危險,為此,防滲漏污染是高純氣體管路設計中必須認真解決的技術措施。另外,在高純氣體管道施工安裝或檢修后或因故停氣恢復時,管內存在的各種雜質氣體的吹掃或因停氣后不可避免地因管內外分壓差而被污染,也需進行吹掃置換達到所要求純度和雜質容許含量。為了減少吹掃、置換時間,也要求高純氣體管路設計時,必須采取相應的技術措施。本條規定的3款規定正是這些技術措施的具體要求,它們是國內外從事高純氣體設計、安裝和運行的科技人員多年經驗的總結。其中第2、3款作為強制性條文,是有關設計者必須遵守的規定。

    10.1.8 本條為電子工業潔凈廠房內設有可燃氣體管道時,應采取的安全技術措施。制定這些規定的理由是:
    1 在使用可燃氣體的潔凈室廠房內,為避免可燃氣體的泄漏引發燃燒、爆炸事故,一般是將管路上的閥門設置在閥門箱內,此類閥門箱均設有氣體泄漏報警和事故排風裝置。
    2 目前,在電子工業潔凈廠房中的氫氣或含氫可燃氣體等接至用氣設備(無明火)的支管和放散管,為防火回火引發事故,均設有阻火器,但除此之外的可燃氣體管道大部分沒有設阻火器,所以本條規定“宜設置阻火設施”。

    10.2 常用氣體系統

    10.2.1 常用氣體主要包括氫氣、氮氣、氧氣、氬氣和氦氣,在電子工廠中它們的供氣方式主要有三種:第一種是在電子工廠內或鄰近處設制氣裝置,采用管道輸送至用氣廠房、車間或設備;第二種,外購液態氣體,在電子廠房內設液態氣體儲罐、氣化器及氣體過濾、調壓、輸配裝置,由管道送至用氣廠房、車間或設備;第三種,外購瓶裝壓縮氣體,瓶裝壓縮氣體有單個鋼瓶或鋼瓶集裝格或長管氣瓶拖車等形式,在電子工廠內設壓縮氣體鋼瓶儲存、氣體分配裝置或匯流排,再由管道輸送至用氣廠房、車間或設備。表23是三種方式的比較。

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    10.2.3~10.2.5 這3條是對電子工業潔凈廠房中的氣體純化裝置的設置、氣體入口室的設置和氣體純化間、氣體入口室內設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時,為了安全、穩定運行作的規定或要求。
    1 根據電子產品生產工藝要求和氣源的品質,電子工業潔凈廠房內常常設有不同類型的氣體純化裝置,如電子產品生產工藝要求氣體中雜質含量達到10-9時,即使管道供應或外購氣瓶的氣體純度達99. 99%或99.999%,尚需設置金屬吸氣劑法、低溫吸附法和鈀膜擴散法等類氣體純化裝置對氣體進行提純。
    2 根據國內已建各類電子工業潔凈廠房的狀況,對于用氣設備較多的廠房,為方便管理和安全運行,各種氣體純化裝置大多設在氣體純化間(站)內,并且常常將多種氣體純化裝置集中設置在一氣體純化間(站)內。一般氧氣純化裝置由于不需要用氫氣進行活化再生,配置非防爆電氣裝置時,可將氧氣純化裝置與配置有防爆電氣裝置的氣體純化裝置分開設置。
    3 為了對進入電子工業潔凈廠房的各種氣體管道進行集中管理,目前國內各工廠大多設有氣體入口室,也有的工廠為管理方便將部分氣體純化裝置或全部氣體純化裝置也設置在氣體入口室內或將氣體進入潔凈廠房的相關控制閥門設在氣體純化間內。
    4 由于氣體終端純化裝置是確保用氣設備處的氣體品質,并且這類設備對氣體品質要求均十分嚴格,為了減少高純氣體輸送過程被污染和減少管路投資以及管理方便,宜將氣體終端純化設備設在鄰近用氣點處。
    5 對于甲類火災危險生產的氣體純化間(站)或氣體入口室,根據現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的要求,應靠外墻設置。
    6 氫氣等可燃氣體引入管道上,應設自動切斷閥,對潔凈室(區)的安全可靠運行十分有利,一旦出現異常時,切斷可燃氣體氣源,防止事故擴大。美國消防協會頒布的NFPA 318《潔凈室消防標準》第6.6.3條規定:“……可燃和有毒氣體探測器必須啟動報警器和切斷氣體供給”。
    7 設有氫氣等可燃氣體的氣體純化間或氣體入口室,應設有良好的自然通風設施,以確保一旦氫氣等泄漏時及時排放,避免在室內積累;當房間內泄漏氣體達到規定濃度時,氣體泄漏報警裝置報警并啟動事故排風裝置。工程實踐證明,自然通風、事故排風均為可靠的、行之有效的安全技術措施。

    10.2.6 鑒于氧氣的特性,氧氣與油脂接觸后,如碰上著火源,極易引起燃燒事故,所以氧氣管道、閥門及附件均應忌油,都必須進行嚴格的脫脂處理;氧氣是典型的氧化性氣體,只要在氧氣管道內因各種原因存在機械雜質、鐵銹等可燃物時,一旦有著火源都極易引發著火燃燒事故,因此氧氣管道等均應設有導除靜電的接地設施,以及時消除管道內氣流摩擦等因素產生的靜電聚集;當潔凈廠房因各種原因出現火情或重大事故時,為了避免引發氧氣管道產生次生災害,減少損失,應及時切斷氧氣供氣氣源。為此制定本條規定,并為強制性條文。

    10.2.9 由于潔凈室(區)內密閉性好,為避免各類氣體泄漏后不易排出,積聚在潔凈室(區)內或技術夾層、技術夾道內,根據電子工業潔凈廠房設計、建造的實踐經驗,氣體管道的連接應采用焊接。當氣體管道的材質采用不銹鋼管時,應采用氬弧焊,并宜采用等離子熔融對接焊。氣體管道與設備或閥門的連接宜采用表面密封接頭(VCR)或雙卡套,高純氣體管道應采用表面密封接頭(VCR),采用雙卡套接頭時,其密封材料宜采用金屬或聚四氟乙烯墊。

    10.3 干燥壓縮空氣系統

    10.3.1 干燥壓縮空氣系統是電子工廠中的一種重要動力源,它用于許多電子產品生產工藝設備氣動設備或儀器儀表的動力氣源,一旦供氣量不足或供氣品質下降,都將影響產品生產過程的正常進行,嚴重時還將停產,故本條對電子工業潔凈廠房中的干燥壓縮空氣系統作了相關的規定。
    1 應按生產工藝、公用動力系統對于燥壓縮空氣品質、消耗量確定設計規模。為確保生產工藝供氣的安全、可靠、穩定性要求,應留有合理的富余量。當產品生產過程要求不能中斷供氣或中斷供氣將會引起安全事故時,應設置一定的備用供氣裝置等。
    2 電子產品生產過程對干燥壓縮空氣的含水量(或露點)、含油量、微粒粒徑及其濃度的要求較為嚴格,表24是一些電子產品生產工藝對干燥壓縮空氣品質的主要要求。

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    3 電子工廠所需干燥壓縮空氣大多要求嚴格控制含油量或無油;即使少數產品因生產工藝對干燥壓縮空氣無含油量要求,但為了確保干燥裝置的安全可靠運行,應采用無油潤滑空氣壓縮機或采取多級過濾器除油,所以本條推薦“宜選用無油潤滑空氣壓縮機”。

    10.4 特種氣體系統

    10.4.1 由于電子產品生產工藝所使用的特種氣體是品種多、單一品種數量少,所以均為外購供應,一般采用鋼瓶包裝、運輸、儲存或少量采用槽車運輸。在鋼瓶(儲罐)內的狀態有氣體及液體。根據生產工藝所使用的特種氣體物化性質、耗量、品質要求,在電子工廠內應合理設置儲存、分配系統。
    10.4.2 本條規定的特種氣體儲存分配間是指電子工業潔凈廠房中設置特氣柜的專用房間,該特氣柜間屬于潔凈廠房中的生產輔助房間,通常設在靠外墻的邊跨中,有時為了平面布局的需要也可設在其他場所。該特氣間生產危險性類別的劃分應根據放置的特氣種類確定,而電子工業潔凈廠房中的特氣間常常設有可燃性、毒性、氧化性特種氣體,所以應按甲、乙類生產類別進行設計。參照現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006中的相關規定,在甲、乙、丙類廠房內,布置有不同類別火災危險性的房間的隔墻應采用耐火極限不低于2.0h的不燃燒體,隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。并根據多年的工程實踐,制定本條規定,并為強制性條文。
    10.4.3 可燃或有毒的特種氣體具有對安全生產、人員健康極大的危害,因此本條的第1~3款對其分配系統的設置作了強制性規定:
    1 特種氣體鋼瓶及其分配系統應設在具有連續機械排風的特氣柜中,該特氣柜應配有氣體泄漏檢測報警系統、手動或自動切換系統、自動切斷輸送氣體及自動吹掃的設施。氣體泄漏檢測報警系統應與事故機械排風機聯鎖。該特氣柜設排風裝置,并應排入相應的生產廢氣處理系統,經集中處理達標后,方能排放至大氣。對儲存高危害性特種氣體的鋼瓶柜應配置就地廢氣處理裝置,經集中處理達標后,才能排入上述相應的生產廢氣處理系統。
    2 為確保連續不中斷運行,分配系統所設置的自控系統、報警系統及與之所聯鎖的事故排風機的電源,均應設應急電源。
    3 特種氣體系統的閥門、附件及連接件都應設在多路閥門箱(盤)(VMB或VMP)內,該閥門箱/盤均設機械排風裝置、氣體泄漏檢測及聲光報警系統,并能在事故發生時及時切斷氣體供應和啟動所聯鎖的事故排風機,排入相應的生產廢氣處理系統。
    10.4.4 特種氣體分配系統中,具有危害性的特種氣體鋼瓶氣源應配備吹掃盤,為此本條作了相應規定。
    1 現將美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》第6.3節有關特種氣體吹掃盤的相關規定摘要如下:
    1)所有危險的壓縮工藝氣體鋼瓶在使用時,應設置吹掃盤;
    2)選用的吹掃盤所使用的管道、配件的材料與所輸送的氣體應具有相容性;
    3)應設置過流量控制,并設緊急切斷閥;
    4)只有用于相容氣體的吹掃盤,才容許共用吹掃氣瓶;
    5)設手動切斷閥,以便將吹掃盤整體取下進行修理。
    2 吹掃盤的吹掃氣源一般采用以下兩種方式.
    1)采用常用氣體輸配系統作為吹掃氣源,系統應設置防回流措施,以防止吹掃氣體與其他工藝特氣的交叉污染;
    2)采用專用吹掃氣體鋼瓶或鋼瓶組作為吹掃氣源,對物化性質不相容的兩個或兩個以上特氣鋼瓶氣源所配置的吹掃盤,不允許合用一氣體鋼瓶或鋼瓶組吹掃氣源。
    10.4.5 本條規定硅烷或硅烷混合物氣瓶應存放在電子工業潔凈廠房建筑外的儲存區內,并規定了這類儲存區設置的相關規定。這些規定,主要是參考了美國消防協會發布的NFPA 318((潔凈室消防標準》第6.4節的有關規定:
    1 儲存區必須是三面敞開的,氣瓶用鋼制框架保護。
    2 氣瓶與周圍構筑物及圍欄最小間距應大于等于95英尺(約2.7m)。
    3 當儲存區設有雨篷時,其凈高應為12英尺(約3.7m)。

    11 化學品供應

    11.1 一般規定

    11.1.1 電子工業潔凈廠房常常需使用各種化學品,根據電子產品品種及其生產工藝的不同,各種電子產品生產所使用的化學品是不相同的,其中以集成電路芯片制造過程、TFT—LCD生產過程所需的化學品品種多,有的純度要求嚴格,表25是這兩種電子產品生產用潔凈廠房內所用的主要化學品種類。表26是有關資料提出的集成電路芯片64M生產過程部分化學品的質量要求。


     

    11.1.2 電子工業潔凈廠房所用化學品如表25所列品種較多,它們的分類、儲存應符合現行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690、《常用危險化學品貯存通則》GB 15603等的相關規定。危險化學品按主要危險特性分為8類,即第1類爆炸品,第2類壓縮氣體和液化氣體,第3類易燃液體,第4類易燃固體、自燃物品和遇濕易燃物品,第5類氧化劑和有機氧化物,第6類有毒品,第7類放射性物品,第8類腐蝕品。
    由于各類化學品的性質不同,因此常用化學危險品應分區、分類、分庫儲存,并不得與禁忌物料混合儲存。儲存化學危險品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑,其耐火等級、層數、占地面積、安全疏散和防火間距,應符合國家有關規定。

    11.2 化學品儲存、輸送

    11.2.1 制定本條的依據和參考材料如下:
    1 現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006第3.3.9條的規定。
    2 現行國家標準《石油化工企業設計防火規范》GB 50160—92(1999年版)第5.9.1條。
    3 美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關規定。第5.1.1條,危險化學品的儲存和分配間應以耐火極限為1.0h的構造物與潔凈室分隔。第5.1.3條,潔凈室中應把危險化學品控制在使用和維護需要的限值。第5.1.4條,危險化學品的儲存和分配間應設有下列機械排風裝置:(1)機械排風最低流量為1m3/s·m2地板面積;(2)排風和入口處的開口應防止氣體的積聚;(3)機械排風系統應與自動應急電源相連。
    11.2.2 制定本條的依據和參考資料如下:
    1 美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關規定。第5.3. 2條,危險化學品不應在出入口走廊內分配和存放。第5.3.3條,運輸和裝載危險化學品的小車應為完全封閉型。用于運輸化學品的小車的容量不應超過208L,最大單個容器的容量為19L。第5.3.4條,不相容的危險化學品,不得用同一裝載危險化學品的小車同時運輸。
    2 據了解,目前國內一些使用危險化學品的電子工業潔凈廠房內,為確保桶裝危險化學品運輸過程的安全,均采用液壓升降裝置,在運輸危險化學品的通道或走廊,均設有自動滅火裝置,一旦發生火情,及時進行救援。對于運送有機溶劑部位,應采用二氧化碳滅火系統或泡沫滅火系統,其余采用自動噴水滅火系統。
    11.2.3 本條規定是根據國內一些電子工業潔凈廠房使用危險化學品的儲存、輸送系統的調查分析資料和參考NFPA 318《潔凈室消防標準》的相關條文制定的。
    1 電子工業潔凈廠房中的危險化學品采用管道輸送時,一般采用氣泵增壓輸送,增壓氣體采用氮氣。
    2 在危險化學品的管道輸送系統的壓力儲罐后的分配和使用設備處均應設手動切斷閥,以便及時進行切斷操作。
    3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5.2節中的相關規定:“采用加壓系統時,系統中所用各種材料都應與所輸送的化學品物化性能具有相容性”,“壓力罐設有自動減壓通風口,若火災時,可排氣至安全的位置”,“使用點設手動切斷閥”、“加壓只能用惰性氣體”等。
    11.2.5 制定本條規定的主要依據如下:
    1 根據對一些電子工業潔凈廠房內設有危險化學品儲存、分配間的調查表明,儲存化學品的儲罐一般設置在底層半地下間,位于化學品供應系統的最低處,在各類液體儲罐之間設有隔堤或保護堤。保護堤是用于儲罐泄漏或檢修用圍堰,防止液體化學品外溢;隔堤是用于甲、乙類液體或液體相互接觸能引起化學反應的儲罐之間的分隔。隔堤、防護堤的高度約500mm。危險化學品儲存、分配間一般均設有液體泄漏報警裝置、緊急洗眼器、淋浴器。
    2 在現行國家標準《石油化工企業設計防火規范》GB 50160中,對于甲、乙類液體設置防火堤、隔堤制定了有關規定。
    3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5.1.2條規定:潔凈廠房內的危險化學品儲存和分配間應設二次抑制化學品溢出的設施。

    11.3 管材、閥門

    11.3.1 電子工業潔凈廠房所需化學品的品質較多,包括具有可燃性、氧化性、腐蝕性的各種酸堿、有機溶劑等,為確;瘜W品的輸送質量、安全運行和使用壽命,輸送化學品的管道材質應根據管內流過化學品的物理化學性質進行選擇,如酸堿類輸送管道材質,通常采用聚四氟乙烯管,并以透明PVC管做保護套管,避免輸送管道被腐蝕和預防酸堿液泄漏時造成人身(設備)受傷(受損)。為防止各類化學品,特別是一些高純化學品在輸送過程中被污染或因管道材質選用不當,引發不應發生的化學反應,影響化學品質量,所以輸送化學品管道的材質應選用化學穩定性良好和相容性好的材料,如:輸送有機溶劑類化學品管道材質,通常采用管內壁拋光的低碳不銹鋼管(SUS316L EP/BA)等。本條為強制性條文。
    11.3.2 據調查了解,在電子工業潔凈廠房中,為防止有腐蝕性的酸堿類管道泄漏,殃及操作人員或生產設備,各類腐蝕性的酸堿類管道均采用帶套管的聚四氟乙烯管(PFA管),外套管為透明的PVC管等。
    在美國消防協會頒布的NFPA 318《潔凈室消防標準》中,有一條例外的說明:“易燃液體的加壓輸送系統容許用非金屬管道輸送,但必須設置于熔點高于1093℃(2000°F)的金屬制造的外殼中”。
    鑒于上述情況,作了本條規定。
    11.3.3 對一些使用多種化學品的管道供應系統的國內電子工業潔凈廠房的調查和相關的技術資料介紹表明,為確;瘜W品供應輸送系統的安全和有利于連接多臺生產設備共用一條管路系統,一般在液體化學品供應系統中設有化學品供應分配閥箱(Valve Manifold Box,簡稱VMB,如圖9所示)。故作本規定。

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    12 電氣設計

    12.1 配 電

    12.1.3 電子工業潔凈廠房中的產品生產用主要工藝設備,一般都是電子生產線的關鍵設備、核心設備,它們的正常、連續運轉對確保生產線的正常運轉至關重要,所以近年來的一些電子產品生產用主要設備都要求由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。隨著科學技術的發展,電子產品生產的精細化、微型化、高質量和高可靠性的要求日益嚴格,對潔凈室(區)的空氣潔凈度等級要求嚴格和連續運轉、高純物質(高純水、高純氣、高純化學品)供應可靠和連續,這些都對潔凈室(區)的電力供應提出了連續甚至不間斷供應和電壓穩定性要求。據不完全統計,近年來設計的大規模集成電路芯片制造工廠、TFT-LCD制造工廠中,均要求電力供應中設置備用發電機組。供應有特殊要求的生產工藝設備和公用動力設備(包括高純氣、特種氣體、部分凈化空調系統、化學品等供應系統)等所需電力,應急發電機供應電力的能力約占全廠裝設功率的2%~15%,不間斷電源(UPS)的電力供應能力占全廠裝設功率的1%~15%;一些大規模集成電路芯片制造工廠的應急發電裝置設有8~12臺,單臺發電能力1500~2000kW。雖然有上述工程實踐,但電子產品類型很多,據了解,并不是所有電子產品生產用潔凈廠房都采用上述配置,因此作了本條規定。
    12.1.4 為確保潔凈廠房的凈化空調系統(含制冷機)連續、穩定地運行,應由變電所低壓饋電專線供電。
    12.1.6 本條規定電子工業潔凈室(區)中的配電設備應采用暗裝,是為了防止或減少產生、積聚微粒,方便清潔。近年來,電子工業潔凈廠房中采用垂直單向流潔凈室時,下技術夾層高度常常為4m以上,此時,配電系統的配電箱基本上均布置在下技術夾層內,故本條規定“配電設備宜設置在下技術夾層”。
    12.1.7 潔凈室(區)為密閉空間,一旦出現火情時煙氣不易排出,為確保工作人員的安全和健康,宜采用低煙、無鹵型電纜,避免電纜燃燒產生的煙霧和鹵素毒氣危及工作人員的安全。為保證潔凈生產區的潔凈度、不積聚塵埃,電纜不宜在潔凈生產區明敷。為避免防止污染物從接縫滲漏人潔凈室(區),對各種接縫、電氣管線口應進行密封處理。
    12.1.8 電子工業潔凈廠房內使用的可燃氣體、危險化學品的種類很多,各自的物理化學特性不同和供應系統配置不同,且具體工程中的系統、設備和安防設施的配置也不相同,所以電氣設計應按現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的規定,由工藝專業等確定其設防等級。

    12.2 照 明

    12.2.1 根據現行國家標準《建筑照明設計標準》GB 50034—2004中的規定,照度值均為作業面或參考平面上的維持平均照度值。該標準第5章中規定了各類建筑的照明標準值,現將其中有關電子工業的部分摘錄于表27中。

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    據調查,近年來設計、建造的一些大規模集成電路芯片制造工廠、TFT-LCD制造工廠潔凈室(區)的照度值大部分為500 lx,也有的采用300 lx;更衣室、支持區和化學品儲存分配間等,大部分為300~500 lx,也有的采用150~200 lx。根據上述情況,制定了本條規定。

    12.2.2 據調查,局部照明的設置和照度值的選擇均與產品生產操作要求相關,實際采用局部照明的照度值一般為500~2000 lx,個別也有超過2000 lx的。為此,本條規定局部照明的照度值應根據生產操作的要求確定。

    12.2.3 潔凈室(區)內的電子產品生產一般為連續性生產,對照明的連續性、可靠性均有較嚴格的要求。設置備用照明的目的是為了正常照明因故熄滅時,確保工作人員能夠繼續從事必要的生產活動或采取應對措施所必須的照度。為減少燈具的重復設置,節省投資,備用照明一般都是作為正常照明的一部分,以不低于該場所一般照明照度值的20%為宜。

    12.2.4 由于潔凈廠房的密閉性和基本采用人工照明的特點,所以目前已建的潔凈廠房內均設有供人員疏散用的應急照明。設置應急照明的部位包括潔凈室(區)、技術夾層和疏散通道等。

    12.3 通信與安全保護裝置

    12.3.1 電子工業潔凈廠房是一密閉性建筑,為確保正常生產、安全生產,在潔凈室(區)內設置通信設施,是加強內外聯系和實現科學管理的重要手段。
    1 潔凈室內設置內外聯系的通信設施,主要指建立內外語音和數據通信。鑒于潔凈室內的工作人員是主要的塵源,人員走動時的發塵量是靜止時的5~10倍,為了減少潔凈室內人員的走動,保證室內潔凈度,在每個工位宜設一個有線語音插座。
    2 若潔凈室(區)設有無線通信系統時,應采用功率小的微蜂窩無線通信等系統,以避免對生產設備造成干擾。
    3 潔凈室生產工藝大多采用自動化操作,需要網絡來支持;現代化生產管理,也需要網絡來支持。因此,需在潔凈室(區)設局域網的線路及插座。
    4 為減少潔凈室(區)內人員的活動,最大限度地減少不必要人員進入,通信配線及管理設備不應設置在潔凈室(區)內。
    12.3.2 電子產品生產用潔凈廠房中的丙類生產廠房,按照現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的要求,其火災保護等級應為二級。當此類潔凈廠房中防火分區面積不超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016要求的防火分區的最大允許建筑面積時,是可行的。
    但有些電子工業潔凈廠房由于工藝流程的需要,其防火分區的面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的規定,有的甚至超過幾倍。另外,電子產品生產工藝復雜,有些電子產品生產中要使用多種易燃、有毒化學溶劑和易燃、有毒氣體、特種氣體。潔凈廠房是密閉性空間,一旦發生火災,熱量無處泄漏,火情擴散速度較快,且通過風管或風道彼此串通,煙火會沿著風管或風道迅速蔓延。電子工業潔凈廠房中的生產設備又很昂貴,加強對潔凈室的火災報警系統設置是非常必要的。所以,在防火分區面積超過規定時,應將保護等級提高為一級。
    12.3.3 由于潔凈室(區)進出程序比較復雜,一般未做身體凈化的人員是不能進入的。當潔凈室內火災報警時,又需要進行火災確認后方可手動控制空調機等設備的動作。因此,應該在潔凈室(區)內,包括下技術夾層內、空調機房、動力站房、各類控制室內均應設置固定消防電話分機,建立潔凈室與消防控制室的消防專用通信線路,以便消防控制人員通過電話及時了解潔凈室(區)和相關房間內的火災情況。
    12.3.4 制定本條的依據是:
    1 電子工業潔凈廠房內火災探測器選擇時,應充分考慮潔凈室(區)的環境條件及房間構造特點,如高度、面積、空氣流向、流速、有無對火災探測器的干擾等,以及火災探測器的特性和技術指標。選用智能型探測器可比較可靠地探測火災。
    2 在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶顯示器生產用潔凈廠房,潔凈生產區的面積較大,防火分區的面積大大超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的最大容許建筑面積,為強化消防設計技術措施,本條明確規定在潔凈室(區)內凈化空調系統混入新風前的回風氣流中,應設置高靈敏度的早期煙霧報警探測器,把著眼點放在不可見煙霧的探測,盡早發現火情,把火災消滅在萌發階段,為避免事態擴大爭取到更多的寶貴時間。據了解,近年來這類潔凈廠房均在回風氣流中安裝了高靈敏度早期報警火災探測器,雖然費用較高和安裝、維護要求嚴格,但仍然得到了用戶和消防部門的認可。
    3 在室溫下,硅烷是一種在空氣中可以自燃的氣體,硅烷一旦泄漏,很快燃燒,不產生煙霧。而紅外—紫外線(UV-IR)雙重掃描的火焰探測器,對硅烷產生的火災反應速度最快。故規定硅烷儲存、分配間(區)應采用火焰探測器。
    4 潔凈室(區)的上下技術夾層、靜壓箱有時是有操作人員在現場的,當這些區域發生火災時,為了第一時間發出警報,便于人員疏散,應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。
    12.3.5 在消防控制室平時對下列設備不應自動聯動,應對潔凈室(區)的火災報警進行核實,當確認火災后,才能在消防控制室進行手動控制。
    1 由于一旦關閉電動防火閥,停止送風,潔凈室(區)的環境就會遭到破壞,恢復起來需要一定的代價和時間。所以規定應在火災報警核實、確認火災后,才能實施“關閉有關部位的電動防火閥,停止相應的凈化空調系統的送風機、排風機和新風機,并接收其反饋信號。”
    2 為防止誤報造成不必要的損失,宜在消防值班室或低壓配電室采用人工方式,對潔凈室(區)空調循環風機、新風機等各類設備的非消防用電進行控制。
    12.3.6~12.3.8 制定這三條的根據是
    1 在一些電子產品生產過程中使用品種多樣的易燃、易爆、有毒氣體,如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6,AsH3、PH3、Cl2等。這些氣體一旦泄漏,將可能產生火災或爆炸、或危及操作人員安全、或對設備造成損害。因此,必須設置有效、安全、可靠的氣體探測和控制系統,避免、防止因氣體泄漏造成事故。氣體探測器按原理分,有電化學式、化學紙帶式、紅外技術和固態金屬氧化物技術等;按采樣方式分,有泵吸式和擴散式。應根據所監測的氣體物化特性和使用環境特點合理選用。
    2 因在各種氣體的輸送管道和特種氣體的氣瓶柜、分配閥門箱內的氣瓶閥、減壓閥、分配閥、切換閥等的連接處容易產生氣體泄漏,在特氣柜更換氣瓶時因操作不當閥門未關緊,管道接口、閥門受腐蝕或連接不牢固等原因,易產生氣體泄漏。因此,在這些易發生泄漏的場所,沿程管道的閥門或接頭易泄漏處和氣瓶柜、分配閥門箱內均應設置檢測點。氣瓶柜、分配閥門箱均設有強制排風系統,如有氣體泄漏時,泄漏的氣體大部分被吸入到排風管內,所以應將采樣點設置在排風管口處。
    3 氣體泄漏報警裝置報警后,為了及時切斷相應氣體的氣源,防止繼續泄漏,造成著火、爆炸事故,應自動聯鎖相應氣體輸送管道的進氣閥門。
    4 美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》,第6.6.1條規定:易燃或有毒氣體在使用中,應設置于配有排氣通風的柜內,柜內應設置氣體監測報警和自動切斷氣體供應設施。第6.6.3條規定:在可能有易燃、有毒氣體泄漏的場所、閥門或裝配件或接頭處,應設置氣體報警和排氣通風設施,一旦報警時,應能切斷氣源。第6.6.5條規定:對可能發生易燃氣體泄漏的場所,設置爆炸下限20%的報警裝置。以上各條要求是制定本條規定的主要依據。

    12.4 自動控制

    12.4.1、12.4.2 電子工業潔凈廠房的設備監控系統是一門集電氣技術、自動化儀表、計算機技術和網絡通信等技術為一體的綜合技術,只有正確合理地運用各門技術,系統才能達到控制要求。為了保證電子工業潔凈廠房對生產環境控制的特殊要求,公用動力工程系統、凈化空調系統等的控制系統應具有高可靠性。其次,對于不同的控制設備,要求具有開放性,以適應實現全廠聯網控制的要求。電子產品工藝技術發展迅速,電子工業潔凈廠房設計應具有靈活性、擴展性,為此要求控制設備具有可擴展性,以滿足潔凈廠房控制要求的變化。
    集散式網絡結構具有良好的人機交互界面,能較好地實現對生產環境、各類動力公用設備實施檢測、監視和控制,可適用于采用計算機技術進行控制的潔凈廠房。當潔凈廠房的參數指標要求不是很嚴格時,也采用常規儀表進行控制。但無論采用何種方式,控制精度都應滿足生產要求,并能做到穩定、可靠運行,達到節能的要求。
    12.4.3 潔凈室(區)需要保持一定的靜壓差,這是實現潔凈室(區)空氣潔凈度的基本要求,所有潔凈室(區)都應采用各種不同的靜壓差控制方法,如余壓閥、壓差變送器等。
    12.4.4 凈化空調系統采用電加熱器對送入潔凈室(區)的潔凈空氣進行加熱時,通常都將電加熱器設置在送風管的支干管或支管上,一旦發生風機事故停車或送風量減少引起送風溫度超過允許溫度時,可能誘發電加熱器燒毀甚至相關部分著火事故,凈化空調系統采用電加濕器時,加濕器加熱汽化純水對送入潔凈室(區)的潔凈空氣增濕,通常將電加濕器安裝在空氣處理機組或送風管內,一旦發生純水供水中斷或無風時,也會誘發電加濕器燒毀甚至相關部分著火事故。為此作了本條的規定,并為強制性條文。

    12.5 接 地

    12.5.1 電子工業潔凈廠房有多種用于不同目的的接地,宜采用共用接地系統,以避免分開接地不同電位所帶來的不安全因素,以及不同接地導體間的耦合影響。不同的接地可以采用單獨的接地線,但接地極系統是共用的,并應遵循等電位連接的原則。
    12.5.3 接地系統設計應以防雷接地系統為基礎,各種接地應包括在防雷接地系統保護范圍之內。

    13 防靜電與接地設計

    13.1 一般規定

    電子工業潔凈廠房中,根據電子產品生產工藝要求設防靜電環境的場所主要有對靜電放電敏感的電子元器件、組件、儀器和設備的制造和操作場所。操作場所包括包裝、傳輸、測試、組裝以及與這些操作相關聯的活動;配置靜電放電敏感的電子儀器、設備和設施的應用場所,如各類電子計算機房,各類電子儀器實驗室、監控室等。在電子工廠中的一些電子產品生產、檢測、試驗場所有潔凈環境要求,靜電的存在將會影響潔凈技術措施的效果。因此、潔凈環境的設計亦應設定靜電控制的預期目標,并按本規范的規定執行。
    防靜電環境設計應采用的主要技術措施,應從抑制或減少靜電的產生和有效、安全地排除靜電的措施著手。

    13.2 防靜電措施

    13.2.1 本條是對防靜電環境中防靜電地面的規定,其主要依據是:
    1 防靜電地面是防靜電環境控制的重點部位,防靜電地面面層類型的選擇,首先應滿足不同的電子產品的生產工藝的要求,并進行技術經濟比較后確定。一般防靜電地面有導靜電型活動地板、靜電耗散型活動地板、貼面地板、樹脂涂層地面、水磨石地面、移動式地墊等。
    2 隨著防靜電工程技術的發展和工程實踐經驗,在防靜電工程領域,采用表面電阻值、表面電阻率或體積電阻率等作為量綱單位,國內(如電子行業)、國外(如美國材料與試驗協會、防靜電協會)近年來發布的標準都使用了上述量綱單位,本規范采納表面電阻率作為量綱單位。
    本條規定的材料名稱、性能指標主要依據《地板覆蓋層和裝配地板靜電性能的試驗方法》SJ/T 11159、《防靜電地面施工及驗收規范》SJ/T 31469,并參考國際、國內相關規范、標準,結合我國實際情況,綜合考慮確定。
    13.2.2 本條是對防靜電環境中的吊頂和墻、柱面的防靜電要求。制定的理由是:
    1 在電子工業潔凈廠房防靜電環境中的頂棚和墻、柱面采用防靜電裝飾,對控制環境質量的作用主要是:抑制塵埃的帶電吸附,改善環境的清潔度;抑制靜電噪聲的空間傳導及其與電噪聲的耦合,凈化工作區的電場環境。故本條規定防靜電環境中的吊頂和墻、柱面的裝飾應按設計分級標準選擇。
    為確保在任何時間任何情況下靜電電位不大于規定值,一、二級防靜電環境的墻、柱面應設置導電層,有利于靜電的可靠泄導。
    2 本條規定主要依據行業標準《防靜電地面施工及驗收規范》SJ/T 31469、地方標準《防靜電工程技術規程》DGJ 08—83,并參考國內、國外相關標準以及近年來大量大工程實踐經驗制定。
    由于軟簾的放電機理比較特殊,在靜電泄放過程中會形成多次放電,參照國外標準,軟簾的摩擦起電電壓可適當放寬。
    三級防靜電工作區提出了低起電材料的應用,根據有關標準和文獻的一般提法,低起電材料界定為摩擦起電電壓不大于2000V,為滿足三級防靜電工作區的靜電電位要求,用于防靜電環境的材料仍不應大于1000V。
    13.2.4 未經表面改性處理的高分子絕緣材料,是環境中產生靜電的主要靜電源,因此本條明確規定電子工業潔凈廠房中的防靜電環境不得使用這類材料。
    由于裝修飾面的平整光滑對于抑制靜電的產生和積聚有積極作用,所以防靜電環境不宜設計的過于復雜。
    13.2.5、13.2.6 制定這兩條的理由是:
    1 由于凈化空調系統送、回風口和風管管壁是易于產生靜電的部位,因此規定了在防靜電環境中的送、回風口和風管制作應采用導電材料,并應接地的要求。
    2 在防靜電環境的凈化空調系統、各種配管系統中使用部分絕緣性材質、導電性橡膠軟管時,應采取相應的導電措施,以泄放可能產生的靜電,并采取可靠接地的措施。
    13.2.7 由于在一些電子產品生產過程中不斷地產生和積聚靜電,雖然在防靜電環境中采取了上述各項防靜電設計技術措施,但仍不能達到某些電子產品生產對防靜電的嚴格要求或在某些局部仍然會形成超過規定的靜電電位。實踐表明,應用離子化靜電消除器等裝置,消除、中和局部表面或空氣中的電荷,是行之有效的方式。離子化靜電消除器種類繁多,其作用原理、產品形式、消除靜電效能、環境要求均差異很大。按空氣離子化原理分,有同位素放射型、交流型、穩定直流型、脈沖直流型等型式。還可按結構形式分,有臺座式離子風機、管式離子風嘴、箱柜式離子風機、離子風槍和靜電離子棒。按適用場所分,有機內層流罩式、潔凈室式、空調房間式、工作臺面式和壓縮氣體式。按組合布置分,有針、細棒、網格(隔柵)、發射體和離子風等。防靜電技術措施應根據不同場所、不同產品生產工藝要求,綜合使用不同形式的離子化消電手段,以達到較好的消電效能。

    13.3 防靜電接地

    13.3.1 導靜電泄放至大地是消除靜電的一種主要方法。為了保證靜電迅速、安全、有效地泄放,潔凈區域金屬物體、導靜電材料均應做可靠接地。
    13.3.4 在電子工業潔凈廠房中,有多種可燃、有毒的氣體、液體或粉體輸送、儲存設備、管道,這些介質的設備、管道也是容易產生靜電危害的場所。所以,對這些介質的設備、管道應采取可靠的安全的導靜電泄放至大地的接地措施,以保證一旦產生靜電能夠迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。

    14 噪聲控制

    14.1 一般規定

    14.1.1 電子工業潔凈廠房內噪聲控制的基本要求:一是應滿足電子產品生產的要求,不能因為潔凈室內的公用動力設施等引起的機械噪聲、氣體動力噪聲,影響電子產品生產的正常進行或由于噪聲的影響降低產品的質量;二是保護潔凈室內工作人員的身體健康,保持工作人員有舒適、安全的工作環境。
    14.1.4 電子工業潔凈室(區)的噪聲頻譜限制值,應采用倍頻程聲壓級,各頻帶聲壓級不宜大于現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001的規定,現將該規范的相關規定摘錄在表28中。

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    14.2 噪聲控制設計

    14.2.1、14.2.2 噪聲控制設計,一般應充分考慮聲源設備的選型、布置和降噪隔聲措施。工程實踐和潔凈室內噪聲測試表明:一是在進行潔凈廠房的平面、空間布置時,在工藝布局可能的情況下,宜將發聲類設備集中布置,并應充分考慮噪聲控制技術措施的合理安排;二是在潔凈廠房內公用動力用房、空調機房、潔凈室(區)的圍護結構設計時,應認真分析研究各類發聲設備的特性、性能參數后,合理地選用圍護結構的構造、材料,以達到良好的隔聲性能;三是潔凈廠房內,包括公用動力系統、潔凈室(區)內應選用低噪聲產品,以確保潔凈室(區)內的噪聲控制要求;當選用的設備輻射噪聲值超過規定時,應根據設備的特性、性能參數、外形尺寸等因素,設置專用隔聲室或隔聲罩或隔聲屏或隔聲器等隔聲設施。
    14.2.3 本條規定電子工業潔凈廠房中的主要聲源設備——公用動力設備,如各種壓縮機、泵類設備、凈化空調系統等的噪聲超過規定時,應設有隔聲、消聲、隔振等有效的噪聲控制措施。工程實踐表明,動力站房、空調機房的圍護結構包括墻體、門窗、頂棚等,均應采取吸聲、隔聲處理;對于輻射噪聲值超過規定的公用動力設備、風機等設備的四周、頂部,應根據這些設備的特性、性能參數、外形及其尺寸等因素,采取設置隔聲罩、隔聲屏或懸掛吸聲體等噪聲控制設施;為了進一步降低空調機房、動力站房內控制室的噪聲聲壓級,改善操作人員的工作環境,宜對控制室的圍護結構包括墻體、門窗和頂棚采用隔聲性能良好的材料進行隔聲處理。

    15 微振控制

    15.1 一般規定

    影響潔凈廠房內精密設備、儀器的微振控制設施不能達到微振動容許值的因素主要有:環境的干擾振動,潔凈廠房內公用動力系統、凈化空調系統的設備、管道在運轉過程中產生的振動等;潔凈廠房的建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置等能否滿足微振控制要求;微振動控制設施中所采取的主動隔振措施、被動隔振措施的準確性等。微振控制設施的工程設計、施工、測試和實際運轉的實踐表明,潔凈廠房的精密設備、儀器的微振控制設施的設計,應分階段進行。這里所謂的分階段進行微振控制設施的設計是根據微振動測試所得到的數據進行分析研究后作為設計依據,按具體項目工程設計的要求,一般是按2~3階段進行精密設備、儀器的微振控制設計工作。一是按場地環境測試數據和精密設備、儀器的微振控制要求,合理進行所在潔凈廠房的總平面布置和建筑基礎以及隔振措施的設計,二是根據建筑結構振動特性測試和精密設備安裝地點環境振動測試及其分析研究結果,合理、準確地進行微振控制設施的設計,三是在微振控制設備的最終測試和分析研究后,若微振控制設施沒有達到控制要求時,尚需進行調整設計。

    15.2 容許振動值

    精密設備、儀器是微振控制設計的主要對象。當作用于精密設備、儀器的微振動超過一定的界限時,此類設備、儀器就無法進行正常的工作,不能按要求生產合格的產品或中間產品,這一界限就是微振動控制值或容許振動值。容許振動值是指保證精密儀器、設備正常工作條件下,其支撐結構面的容許振動幅值。電子工業潔凈廠房內的精密設備、儀器種類很多,它們都有各自的特性或所生產電子產品的不同精度有其特定的容許振動值,如集成電路生產的光刻機、圖像發生器,光導纖維生產的光纖拉制機,TFT—LCD生產的電子速曝光機、光刻機等。
    精密設備、儀器的容許振動值的物理量表達有多種,目前在微振控制設計時常用的有:振幅或容許振動位移量(μm)、振動速度(量綱為mm/s)、振動加速度(量綱為mm/s2)。精密設備、儀器根據本身的使用特點采用不同的物理量進行微振控制設計。
    精密設備、儀器的容許振動值一般是通過試驗確定或在實際生產運行中的經驗總結或實測數據,這些值與設備、儀器的特性和產品工藝要求關系密切,目前微振控制設計時的容許振動值一般由生產工藝提供方或設備制造廠家按其用途提供這些數據。本規范附錄C列出一些精密設備、儀器的容許振動值供參考。

    15.3 微振動控制設計

    15.3.1 電子工業潔凈廠房中微振控制設計,應按圖10所示的程序進行。工程實踐表明,該程序是電子工廠,特別是微電子工廠潔凈廠房中微振控制設計的有效程序。圖中指出的四次測試就是本條制定的依據。
    15.3.2 有微振控制要求的潔凈室(區)的建筑結構設計是微振控制設計的重要部分。實踐表明,大量的環境振動能量是通過建筑結構傳遞到精密設備、儀器的基礎底部,所以建筑結構的微振動控制設計的基本要求是:建筑物的基礎應盡可能地置于堅硬土層上或置于動力特性良好的地基上,并且基礎應具有足夠的剛度;設置獨立的建筑結構微振動控制體系,并與廠房主體結構脫開,減少廠房主體結構振動的影響;廠房的主體結構還應根據微振動控制的需要,在可能情況下,適當增大結構截面尺寸,增加整體建筑的剛度。建筑結構微振動控制體系的內容,隨不同電子產品的生產工藝要求有所不同,如集成電路芯片生產用潔凈廠房的建筑結構微振動控制體系包括:獨立于廠房主體結構的基礎,一般采用深基礎或復合地基,以確;A具有足夠剛度和較少沉降量,設置防微振平臺,該平臺與主體結構脫開,并應具有較大的質量及較好的剛度,平臺下支撐柱一般采用較小的柱距;在防微振平臺下,一般設必要的防微振墻,以減弱水平向振動的傳遞;微振動控制體系底部一般設置厚重地面層等。根據上述要求和工程實踐制定本條規定。

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    15.3.3、15.3.4 對潔凈廠房內的各類振源進行積極隔振,以減少它們對潔凈室(區)內的精密設備、儀器的振動影響,是潔凈廠房設計的重要內容之一。潔凈廠房內的振源形式大體有:沖擊型(沖床、各類介質輸送管道等)、往復型(各種壓縮機等)、旋轉型(通風機、離心式壓縮機、泵、電動機等),對它們的隔振措施設計包括隔振元件的選用、隔振臺座的形式和構造的設計、靜力計算及振動計算等。
    對精密設備、儀器采用隔振器隔振,以減弱支承結構傳遞的振動影響,達到容許振動值的要求,這被稱為消極隔振。根據近年來微振控制設計、測試、建造的工程實踐,制定了本條規定。

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